一种可升降罩式退火炉的制作方法

    专利查询2026-06-17  8


    本技术涉及退火炉,具体为一种可升降罩式退火炉。


    背景技术:

    1、退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能,热处理是针对不同的效果而设计的,退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。

    2、可升降罩式退火炉在使用时,为了方便将退火炉内部的东西取出,通过外界工具将防护罩升降,然而在将防护罩升降的过程中,一旦驱动电机损坏,在防护罩的自重下加速向下移动,进而容易使炉台以及自身损坏,降低其使用寿命。

    3、所以我们提出了一种可升降罩式退火炉,以便于解决上述中提出的问题。


    技术实现思路

    1、本实用新型的目的在于提供一种可升降罩式退火炉,以解决上述背景技术提出在将防护罩升降的过程中,一旦驱动电机损坏,在防护罩的自重下加速向下移动,进而容易使炉台以及自身损坏,降低其使用寿命的问题。

    2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种可升降罩式退火炉,包括底板和安装在底板的顶部靠近前侧处的炉台,所述炉台的顶部设有防护罩本体,底板的顶部靠近后侧处设置有n形座,n形座的顶部靠近两侧处均固定安装有支撑板,n形座的顶部靠近另一侧处设有防护组件,n形座相对的一侧靠近中间位置处设有限位组件,n形座的顶部靠近一侧处设有驱动电机,驱动电机动力输出轴轴端固定安装有转轴,转轴的端部活动贯穿两个支撑板的内腔;

    3、所述防护组件包括固定安装在转轴端部的磁感线圈和位于磁感线圈前后两侧处的s极磁铁和n极磁铁,n极磁铁和s极磁铁的一侧均与相邻支撑板固定连接,所述底板的顶部靠近前侧处固定安装有通电磁铁,防护罩本体的外周靠近中间位置处固定套设有环形磁铁。

    4、优选的,所述磁感线圈与通电磁铁之间电性连接。

    5、优选的,所述底板的顶部靠近前后两侧处均固定安装有电动滑轨,电动滑轨的顶部均滑动连接有电动滑块,电动滑块的顶部共同固定安装有n形座。

    6、优选的,所述驱动电机的底部固定安装有承重板,承重板的一侧与相邻支撑板固定连接,转轴的外周固定套设有收卷辊,收卷辊的外周缠绕有绳索,n形座的顶部开设有矩形开口,绳索的底端贯穿矩形开口的内腔,并固定安装有吊钩。

    7、优选的,所述限位组件包括滑动连接在n形座内腔侧壁的滑动块和固定安装在相邻滑动块上的伸缩杆,伸缩杆相对的一端均固定安装有弧形块。

    8、优选的,所述伸缩杆的外周均活动套设有弹簧,且弹簧的两端分别与相邻滑动块和相邻弧形块固定连接。

    9、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

    10、1、当驱动电机损坏时,在防护罩本体不受外力牵引的,且由于自身重力向下加速移动时,在转轴的旋转下能够使磁感线圈旋转,切割n极磁铁和s极磁铁为通电磁铁提供电源,能够与环形磁铁产生斥力,避免防护罩本体直接冲撞炉台,延长防护罩本体与炉台的使用寿命。

    11、2、通过设置弧形块能够对防护罩本体进行限位,在弹簧的配合使用下能够对弧形块紧紧的与防护罩本体的外周贴合,能够防止在将防护罩本体吊起移动时产生前后晃动,提高装置的安全性。



    技术特征:

    1.一种可升降罩式退火炉,包括底板(1)和安装在底板(1)的顶部靠近前侧处的炉台(3),其特征在于:所述炉台(3)的顶部设有防护罩本体(4),底板(1)的顶部靠近后侧处设置有n形座(2),n形座(2)的顶部靠近两侧处均固定安装有支撑板(5),n形座(2)的顶部靠近另一侧处设有防护组件(8),n形座(2)相对的一侧靠近中间位置处设有限位组件(9),n形座(2)的顶部靠近一侧处设有驱动电机(6),驱动电机(6)动力输出轴轴端固定安装有转轴(7),转轴(7)的端部活动贯穿两个支撑板(5)的内腔;

    2.根据权利要求1所述的一种可升降罩式退火炉,其特征在于:所述磁感线圈(81)与通电磁铁(84)之间电性连接。

    3.根据权利要求1所述的一种可升降罩式退火炉,其特征在于:所述底板(1)的顶部靠近前后两侧处均固定安装有电动滑轨(11),电动滑轨(11)的顶部均滑动连接有电动滑块(12),电动滑块(12)的顶部共同固定安装有n形座(2)。

    4.根据权利要求1所述的一种可升降罩式退火炉,其特征在于:所述驱动电机(6)的底部固定安装有承重板(61),承重板(61)的一侧与相邻支撑板(5)固定连接,转轴(7)的外周固定套设有收卷辊(71),收卷辊(71)的外周缠绕有绳索(72),n形座(2)的顶部开设有矩形开口,绳索(72)的底端贯穿矩形开口的内腔,并固定安装有吊钩(73)。

    5.根据权利要求1所述的一种可升降罩式退火炉,其特征在于:所述限位组件(9)包括滑动连接在n形座(2)内腔侧壁的滑动块(91)和固定安装在相邻滑动块(91)上伸缩杆(92),伸缩杆(92)相对的一端均固定安装有弧形块(93)。

    6.根据权利要求5所述的一种可升降罩式退火炉,其特征在于:所述伸缩杆(92)的外周均活动套设有弹簧(921),且弹簧(921)的两端分别与相邻滑动块(91)和相邻弧形块(93)固定连接。


    技术总结
    本技术涉及退火炉技术领域,且公开了一种可升降罩式退火炉,包括底板和安装在底板的顶部靠近前侧处的炉台,所述炉台的顶部设有防护罩本体,底板的顶部靠近后侧处设置有n形座,n形座的顶部靠近两侧处均固定安装有支撑板,n形座的顶部靠近另一侧处设有防护组件,n形座相对的一侧靠近中间位置处设有限位组件,n形座的顶部靠近一侧处设有驱动电机,当驱动电机损坏时,在防护罩本体不受外力牵引的,且由于自身重力向下加速移动时,在转轴的旋转下能够使磁感线圈旋转,切割N极磁铁和S极磁铁为通电磁铁提供电源,能够与环形磁铁产生斥力,避免防护罩本体直接冲撞炉台,延长防护罩本体与炉台的使用寿命。

    技术研发人员:李继军,高峰
    受保护的技术使用者:天津东和兴包装制品有限公司
    技术研发日:20240411
    技术公布日:2024/11/26
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