本技术涉及测量仪，具体为一种半导体晶圆片平面测量仪。
背景技术：
1、目前，在半导体制造领域，晶圆片的平面度是衡量其质量的关键参数之一，晶圆片作为集成电路的基础材料，其表面平整度直接影响到后续工艺步骤的精度和成品率，因此，精确而高效地测量晶圆片的平面度，对于提升半导体器件的性能和可靠性至关重要。
2、现有技术中授权公告号为：cn216977849u的实用新型，名称为：一种便携接触式碳化硅晶圆片厚度测量仪，主要由载台、晶片放置架、测量支架和控制箱等部分组成，晶片放置架被安装在载台的顶部中心，上面均匀分布有金属支撑球，用于稳定支撑待测的碳化硅晶圆片，测量支架包括转动轴和测量杆，测量杆上装有晶片监测探头和晶片监测传感器，这些部件协同工作，能够精确测量晶圆片的厚度，控制箱被安装在载台的边角处，上面设置有数字显示器和操作按钮，用户可以通过操作按钮控制测量仪的工作，测量结果则会在数字显示器上显示出来，该专利的测量仪具有便携性，可以方便地移动到不同的工作环境中使用，同时，它采用接触式测量方式，能够直接接触到晶圆片表面，从而更准确地测量其厚度，此外，该专利的设计还降低了晶圆片的测量成本，提高了测量精度，非常适合在半导体制造和研发领域使用。
3、然而该专利中将晶圆片放置在晶片放置架上，并且晶片放置架与载台之间可拆卸连接，晶片放置架上的金属支撑球用于稳定支撑待测的碳化硅晶圆片，可拆卸连接的晶片放置架会影响到整体的稳定性，且当金属支撑球与晶圆片之间的接触不够紧密时，晶圆片在测量过程中会发生倾斜或滑动，同样会影响测量结果的准确性，故存在不稳定性。
4、现有技术中授权公告号为：cn216695967u的实用新型，名称为：一种用于半导体晶圆的接触角测量仪，包括一个底座、视觉识别系统、样品台组件和一个加样系统，其中，样品台组件是仪器的核心部分，包括一个样品台安装座和一个可以转动的样品台，这个样品台是圆盘形的，并且在它的端面上设有一个环形负压槽，这个环形负压槽通过一根抽真空管与外部相连，以便在需要时形成负压，在测量过程中，加样系统会向样品台上滴落液滴，而视觉识别系统则负责捕捉液滴与晶圆表面接触后形成的接触角，样品台可以转动，这样可以帮助视觉识别系统从多个角度观察并测量接触角，从而提高测量的准确性，同时，环形负压槽和抽真空管的设置可以确保晶圆在测量过程中稳定地固定在样品台上，防止因外力或振动导致的滑落，从而提高了测量的稳定性，该专利设计合理，操作简便，不仅可以准确测量半导体晶圆的接触角，还具有很高的稳定性和安全性。
5、然而该专利中采用真空泵向环形负压槽抽真空，使其形成负压环境，从而半导体晶圆可以较为稳定的吸附在样品台上，真空泵形成负压环境虽然也能达到固定晶圆的目的，但其稳定性会受到真空泵工作性能、负压槽的设计和制造精度等多种因素的影响，存在不稳定性。
技术实现思路
1、本实用新型解决的技术问题是提供一种半导体晶圆片平面测量仪，解决了稳定性差和实用性差的问题。
2、为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆片平面测量仪，包括底座，所述底座的顶部分别通过螺丝固定连接有立板、两个对称布置的加强筋以及安装座，两个所述加强筋的一侧同时和所述立板的一侧固定连接，所述安装座的底部通过螺丝固定连接有壳体，所述壳体的内部固定设置有定位装置；
3、所述定位装置包括转盘和四个圆周均布的移动块，所述壳体的一侧安装有电机，所述电机的输出端通过联轴器固定连接有同轴设置的蜗杆，所述壳体的内部通过螺丝固定连接有两个对称布置的固定块，所述蜗杆同时转动安装在两个所述固定块的内部，所述壳体的内部转动安装有转块，所述转块的顶部通过螺丝固定连接有异形蜗轮，所述蜗杆和所述异形蜗轮啮合连接，所述异形蜗轮的内部固定嵌套有转杆，所述转杆固定嵌套在所述转盘的内部，所述转盘的内部滑动装配有四个圆周均布的移动杆，所述壳体的顶部通过螺丝固定连接有四个圆周均布的梯形条，所述梯形条滑动装配在所述移动块的内部，所述移动块的顶部通过螺丝固定连接有连接板，所述连接板的一侧通过螺丝固定连接有定位块，所述定位块的一侧粘接有橡胶垫，所述移动杆的顶部和所述连接板的底部固定连接，所述转盘的顶部粘接有防滑垫。
4、优选的，所述立板的一侧安装有电动滑轨，所述电动滑轨的内部滑动装配有测量组件，所述测量组件的底部分别安装有测量仪器、摄像头以及照明灯，所述底座的顶部安装有控制组件，所述控制组件上安装有显示屏，所述测量仪器、所述摄像头、所述照明灯、所述控制组件以及所述显示屏电性连接。
5、优选的，所述壳体的内部开设有空腔，所述蜗杆和所述异形蜗轮均转动安装在所述空腔的内部，体现了蜗杆和异形蜗轮的稳定性。
6、优选的，两个所述固定块的内部均开设有转槽，所述蜗杆同时转动安装在两个所述转槽的内部，提升了蜗杆的稳定性。
7、优选的，所述转盘的内部开设有四个圆周均布的弧形槽，所述移动杆滑动装配在所述弧形槽的内部，实现了四面夹持的效果。
8、优选的，所述移动块的内部开设有梯形槽，所述梯形条滑动连接在所述梯形槽的内部，体现了梯形条的稳定性。
9、优选的，所述壳体的内部开设有活动槽，所述转块转动安装在所述活动槽的内部，体现了转块的稳定性。
10、优选的，壳体的内部开设有竖槽，所述转杆转动安装在所述竖槽的内部，提升了转杆的稳定性。
11、与相关技术相比较，本实用新型具有如下有益效果：
12、1、本实用新型通过电机和蜗杆等结构的设置，使用时，将半导体晶圆片放置在防滑垫上，启动电机，电机带动蜗杆转动，从而同时带动四个定位块对半导体晶圆片进行四面夹持，提升夹持的稳定性，便于后续的检测工作。
13、2、本实用新型通过电动滑轨和摄像头等结构的设置，检测时，利用电动滑轨调节检测仪器的位置，在摄像头捕捉到晶圆片的图像后，通过控制组件启动测量仪器，测量仪器会根据预设的程序和算法，对晶圆片的平面尺寸和特性进行精确测量，解决了实用性差的问题。
14、为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
1.一种半导体晶圆片平面测量仪，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部分别通过螺丝固定连接有立板(2)、两个对称布置的加强筋(3)以及安装座(4)，两个所述加强筋(3)的一侧同时和所述立板(2)的一侧固定连接，所述安装座(4)的底部通过螺丝固定连接有壳体(5)，所述壳体(5)的内部固定设置有定位装置；
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片平面测量仪，其特征在于：所述立板(2)的一侧安装有电动滑轨(21)，所述电动滑轨(21)的内部滑动装配有测量组件(22)，所述测量组件(22)的底部分别安装有测量仪器(23)、摄像头(24)以及照明灯(25)，所述底座(1)的顶部安装有控制组件(26)，所述控制组件(26)上安装有显示屏(27)，所述测量仪器(23)、所述摄像头(24)、所述照明灯(25)、所述控制组件(26)以及所述显示屏(27)电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片平面测量仪，其特征在于：所述壳体(5)的内部开设有空腔，所述蜗杆(8)和所述异形蜗轮(10)均转动安装在所述空腔的内部。
4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片平面测量仪，其特征在于：两个所述固定块(7)的内部均开设有转槽，所述蜗杆(8)同时转动安装在两个所述转槽的内部。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片平面测量仪，其特征在于：所述转盘(11)的内部开设有四个圆周均布的弧形槽(12)，所述移动杆(18)滑动装配在所述弧形槽(12)的内部。
6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片平面测量仪，其特征在于：所述移动块(14)的内部开设有梯形槽，所述梯形条(13)滑动连接在所述梯形槽的内部。
7.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片平面测量仪，其特征在于：所述壳体(5)的内部开设有活动槽，所述转块(9)转动安装在所述活动槽的内部。
8.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片平面测量仪，其特征在于：壳体(5)的内部开设有竖槽，所述转杆(19)转动安装在所述竖槽的内部。
