本发明涉及晶圆缺陷检测，特别涉及一种晶圆双面连续视觉检测设备。
背景技术：
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，其形状为圆形，故被称为晶圆。晶圆是生产集成电路（ic）的重要载体，通过在其上加工制作各种电路元件结构，最终形成具有特定电性功能的ic产品。
2、晶圆在生产过程中，受工艺条件，制造出的少量晶圆其表面会出现污点、气泡、凹洞
3、等缺陷，故需要对其进行表面缺陷检测，以剔除不良产品，现有的一般采用视觉成像（采用视觉成像检测头对晶圆表面进行视觉成像并将成像后图片与合格晶圆图像进行比对，以剔除不良产品）技术对输送线上的晶圆进行检测，为保证成像效果，当晶圆运输至检测点位时，输送线会停止运动，此时间内视觉成像设备对晶圆表面进行拍照（视觉成像设备要想成像清晰，需要保持其与晶圆相对静止一段时间，即需要一定的反应时间），待视觉检测完毕后，输送线又开始运动会，导致整个晶圆检测效率低下，故此，本申请提供了一种晶圆双面连续视觉检测设备来满足需求。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种晶圆双面连续视觉检测设备，用于解决现有技术中晶圆缺陷检测效果低下的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种晶圆双面连续视觉检测设备，包括第一链板式输送机、第二链板式输送机和两组视觉成像检测单元；
3、所述第一链板式输送机位于所述第二链板式输送机的上方，所述第一链板式输送机和所述第二链板式输送机的链板上均等间隔设置有多个晶圆放置板，且每个所述晶圆放置板上均设置有晶圆放置凹槽，所述晶圆放置凹槽内均设置有真空吸盘器；
4、两个所述视觉成像检测单元分别安装在所述第一链板式输送机和所述第二链板式输送机上；
5、两个所述视觉成像检测单元分别用于检测连续移动中的单个晶圆放置板上晶圆正反面缺陷。
6、作为本实施例中的一种优选地实施方式，所述视觉成像检测单元包括安装在u形板上的视觉成像检测头、安装有限位杆的安装板、滑动安装在所述晶圆放置板侧端的接触杆以及带动所述接触杆相对所述晶圆放置板做伸缩运动的弧形板；
7、所述u形板的侧壁上固定有滑板，且所述滑板滑动套设在所述限位杆上；
8、所述接触杆通过位于所述晶圆放置板内腔的连接弹簧与所述晶圆放置板连接，所述接触杆的下端相对转动设置有两个转杆，且两个所述转杆之间形成限位间隙，且此所述限位间隙与所述弧形板的厚度一致，所述接触杆与所述u形板侧端接触的接触面上安装有第一弹性磁垫；
9、所述u形板的两下端底部均设有滚珠；
10、所述安装板上远离所述滑板的一端上安装有可与所述滑板端面形成挤压接触的复位弹簧；
11、所述滑板的侧端以及所述安装板上分别相对设置有第三弹性磁垫和第二弹性磁垫。
12、作为本实施例中的一种优选地实施方式，还包括减速单元，用于对进行复位运动的u形板进行减速，使得其平稳恢复原位并停止运动。
13、作为本实施例中的一种优选地实施方式，所述减速单元包括所述安装板的安装条上安装的减速磁体以及安装在所述滑板外壁上的永磁体，所述减速磁体与所述永磁体相对设置，且相对端磁极相同，所述减速磁体和所述永磁体均设置在回形隔磁罩内，所述减速磁体远离所述复位弹簧设置。
14、作为本实施例中的一种优选地实施方式，所述减速磁体包括若干个呈一字型排列的减速永磁体，多个所述减速永磁体的磁性逐渐变大，靠近所述复位弹簧，所述减速磁体的磁性就越小。
15、作为本实施例中的一种优选地实施方式，还包括磁力屏蔽单元，用于屏蔽所述减速磁体与所述永磁体之间的磁力作用。
16、作为本实施例中的一种优选地实施方式，所述磁力屏蔽单元包括横向贯穿所述永磁体所在隔磁罩的隔磁板以及分别设置在所述安装条上的第一挡板和第二挡板，所述隔磁板设置有与所述永磁体适配的透磁孔，所述隔磁板的两端上均设有半圆形结构的弹性定位柱，所述隔磁罩的两侧壁上均设置有定位板，且所述定位板上设置有与所述弹性定位柱适配的定位槽。
17、综上，本发明的技术效果和优点：
18、本发明结构合理，本发明可连续不间断对晶圆地正反面进行视觉缺陷检测，可大大提高检测效率；
19、本发明中，设置减速单元，配合第二弹性磁垫和第三弹性磁垫，可使得u形板快速平稳停止运动；
20、本你发明中，还包括磁力屏蔽单元，当u形板靠近复位弹簧的运动，可屏蔽减速段的磁力作用，减小晶圆放置板的运动阻力，降低输送机的输送能耗同时防止得u形板相对晶圆位移不断发生改变，有利于快速形成清晰地影像以及检测精度地提高。
1.一种晶圆双面连续视觉检测设备，其特征在于：包括第一链板式输送机（1）、第二链板式输送机（2）和两组视觉成像检测单元（5）；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆双面连续视觉检测设备，其特征在于：所述视觉成像检测单元（5）包括安装在u形板（51）上的视觉成像检测头（52）、安装有限位杆（55）的安装板（54）、滑动安装在所述晶圆放置板（3）侧端的接触杆（57）以及带动所述接触杆（57）相对所述晶圆放置板（3）做伸缩运动的弧形板（511）；
3.根据权利要求2所述的一种晶圆双面连续视觉检测设备，其特征在于：还包括减速单元，用于对进行复位运动的u形板（51）进行减速，使得其平稳恢复原位并停止运动。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆双面连续视觉检测设备，其特征在于：所述减速单元包括所述安装板（54）的安装条上安装的减速磁体（513）以及安装在所述滑板（53）外壁上的永磁体（514），所述减速磁体（513）与所述永磁体（514）相对设置，且相对端磁极相同，所述减速磁体（513）和所述永磁体（514）均设置在回形隔磁罩内，所述减速磁体（513）远离所述复位弹簧（56）设置。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆双面连续视觉检测设备，其特征在于：所述减速磁体（513）包括若干个呈一字型排列的减速永磁体，多个所述减速永磁体的磁性逐渐变大，靠近所述复位弹簧（56），所述减速磁体（513）的磁性就越小。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆双面连续视觉检测设备，其特征在于：还包括磁力屏蔽单元，用于屏蔽所述减速磁体（513）与所述永磁体（514）之间的磁力作用。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆双面连续视觉检测设备，其特征在于：所述磁力屏蔽单元包括横向贯穿所述永磁体（514）所在隔磁罩的隔磁板（8）以及分别设置在所述安装条上的第一挡板（6）和第二挡板（7），所述隔磁板（8）设置有与所述永磁体（514）适配的透磁孔（9），所述隔磁板（8）的两端上均设有半圆形结构的弹性定位柱（10），所述隔磁罩的两侧壁上均设置有定位板（11），且所述定位板（11）上设置有与所述弹性定位柱（10）适配的定位槽。
