一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器的制作方法

    专利查询2026-08-20  9


    本发明涉及一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器,属于光电子领域。


    背景技术:

    1、声光锁模器已广泛应用于超短脉冲(飞秒)激光器中,是使激光纵模间隔相等、相位相同的关键器件。声光锁模器的工作原理是在声光介质的通声面上制作一个换能器。换能器把吸收的射频信号(频率为f)转化为超声波,超声波传输到声光介质的超声波反射面,被超声波反射面(与通声面平行)反射回通声面,在条件合适时反射的超声波形成驻波。

    2、声光锁模器放置在激光腔内时,声光介质内的驻波将与激光发生声光互作用,对激光产生周期性损耗,使激光纵模间隔相等、相位相同,并输出频率为2f的超短脉冲激光。激光器腔长(光程长)设为l,激光腔长l与射频信号频率f之间的关系为:

    3、f=c/(4l)                                (1)

    4、(1)式中,c为光速。从(1)式可知,声光锁模器的工作频率f与激光腔长l成反比,要降低激光腔长l就必须增大工作频率f。显然,声波衰减系数与工作频率的平方成正比。随着工作频率的增大,声波衰减系数会急剧增大,进而降低反射声波的强度,并降低衍射效率,这就限制了声光锁模器的工作频率。

    5、熔石英(fused silica,又名融石英)光学性能优良,而且没有旋光性,是常用的声光锁模器材料,熔石英声波衰减系数为12db/cm·ghz2。以美国brimrose公司产品为例,他们以熔石英为声光介质材料制作声光锁模器。在同等条件下,工作频率80mhz的声光锁模器(型号fsml-80-20-br1064)的衍射效率为60%,而工作频率125mhz的声光锁模器(型号fsml-125-20-br1064)的衍射效率就只有30%。为满足超短脉冲激光器向更高频率发展的需求,必须寻求开发一种能够提高工作频率与衍射效率的声光锁模器。


    技术实现思路

    1、针对上述技术问题,本发明提供了一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器。

    2、为了实现上述目的,本发明采用的技术方案如下:

    3、一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器,包括声光介质;所述声光介质为石英晶体,石英晶体的x轴作为超声波传输方向,石英晶体的y轴作为通光方向,石英晶体的z轴作为光轴与通光方向垂直;在石英晶体的x轴方向设置有两个相互平行的抛光面,一个抛光面作为通声面,在通声面上设置有焊接层,焊接层上安装有换能器,换能器上设置有表电极;另外一个抛光面作为超声波反射面。

    4、进一步的,当通声面与反射面之间的长度为超声波波长的整数倍时,超声波在石英晶体内形成驻波。

    5、进一步的,通光方向对应的通光面设置有布儒斯特角。

    6、进一步的,通光方向对应的通光面镀有增透膜。

    7、进一步的,增透膜材料为氧化铪和氧化铝。

    8、进一步的,所述石英晶体为高纯度材料,其金属元素杂质含量小于1ppm。

    9、进一步的,所述超声波反射面为悬空状态。

    10、本发明的积极效果是:

    11、本发明用高纯度石英晶体代替融石英,并优先对石英晶体切向,使旋光性最小、声光优值最高,把石英晶体旋光性对锁模激光器的影响降到最低,从而提高声光锁模器的出光效率。由于石英晶体的声波衰减系数更低、声光优值更高,这样就能大幅提高声光锁模器的工作频率和衍射效率,满足超短脉冲激光器向更小体积的发展需求。本发明令超声波反射面悬空,能够避免附着物降低超声波反射面反射声波的能力,从而能够有效提高驻波效应,进而提高衍射效率。



    技术特征:

    1.一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器,包括声光介质;其特征在于,所述声光介质为石英晶体,石英晶体的x轴作为超声波传输方向,石英晶体的y轴作为通光方向,石英晶体的z轴作为光轴与通光方向垂直;在石英晶体的x轴方向设置有两个相互平行的抛光面,一个抛光面作为通声面,在通声面上设置有焊接层,焊接层上安装有换能器,换能器上设置有表电极;另外一个抛光面作为超声波反射面。

    2.根据权利要求1所述的一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器,其特征在于,当通声面与反射面之间的长度为超声波波长的整数倍时,超声波在石英晶体内形成驻波。

    3.根据权利要求1所述的一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器,其特征在于,通光方向对应的通光面设置有布儒斯特角。

    4.根据权利要求1所述的一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器,其特征在于,通光方向对应的通光面镀有增透膜。

    5.根据权利要求4所述的一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器,其特征在于,增透膜材料为氧化铪和氧化铝。

    6.根据权利要求5所述的一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器,其特征在于,所述氧化铪和所述氧化铝交替排列。

    7.根据权利要求1所述的一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器,其特征在于,所述石英晶体为高纯度材料,其金属元素杂质含量小于1ppm。

    8.根据权利要求1所述的一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器,其特征在于,所述超声波反射面为悬空状态。


    技术总结
    本发明涉及一种提高工作频率与衍射效率的声光锁模器,属于光电子领域;所述声光锁模器包括声光介质,其采用石英晶体,石英晶体的X轴作为超声波传输方向,Y轴作为通光方向,Z轴作为光轴与通光方向垂直;在石英晶体的X轴方向设置有两个相互平行的抛光面,一个抛光面作为通声面,在通声面上设置有焊接层,焊接层上安装有换能器,换能器上设置有表电极;另外一个抛光面作为超声波反射面。本发明用高纯度石英晶体代替融石英,并优选石英晶体切向,把石英晶体旋光性对锁模激光器的影响降到最低。由于石英晶体的声波衰减系数更低、声光优值更高,这样就能大幅提高声光锁模器的工作频率和衍射效率,满足超短脉冲激光器向更小体积的发展需求。

    技术研发人员:张泽红,曾梦婷,吴畏,何晓亮
    受保护的技术使用者:中国电子科技集团公司第二十六研究所
    技术研发日:
    技术公布日:2024/11/26
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