炉体及工艺炉的制作方法

    专利查询2026-08-29  4


    本申请涉及半导体设备,尤其涉及一种炉体及工艺炉。


    背景技术:

    1、工艺炉是光伏电池制造的核心设备之一,工艺炉主要用于光伏电池的扩散、氧化、退火等步骤的反应室。

    2、炉体是工艺炉的主要组成部件之一,在进行光伏电池的扩散、氧化、退火等工艺时,其主要将光伏电池的待加工品放置于炉体内进行相应的制备过程。

    3、然而,上述相关技术中的炉管在高温下受重力作用整体容易下垂变形,导致炉体损坏。


    技术实现思路

    1、本申请实施例提供一种炉体及工艺炉,用于解决上述相关技术中的炉管在高温下受重力作用整体容易下垂变形,导致炉体损坏的技术问题。

    2、为了实现上述目的,本申请实施例提供如下技术方案:

    3、本申请实施例的第一方面提供一种炉体,其包括炉管、炉门、密封机构和两个第一支撑机构;

    4、所述炉管沿第一方向延伸的一端具有炉口;

    5、所述密封机构设置于所述炉管朝向所述炉口的一端,所述炉门通过所述密封机构与所述炉管相连并通过所述密封机构密封所述炉口;

    6、两个所述第一支撑机构在垂直于所述第一方向的第二方向上间隔排布,所述炉管位于两个所述第一支撑机构之间,两个所述第一支撑机构用于与工艺炉的主体部相连,两个所述第一支撑机构用于支撑所述炉管。

    7、在上述技术方案的基础上,本申请还可以做如下改进。

    8、在一种可能的实现方式中,每个所述第一支撑机构均包括第一底座和支撑杆;

    9、所述支撑杆沿所述第一方向延伸,所述炉管位于两个所述支撑杆之间,且所述两个所述支撑杆位于所述主体部和所述炉管的中心轴线之间,所述支撑杆背向所述主体部的一侧抵接所述炉管的外侧壁;

    10、所述第一底座与所支撑杆相连,所述支撑杆通过所述第一底座与所述主体部相连。

    11、在一种可能的实现方式中,所述密封机构包括连接板和密封法兰;

    12、所述连接板设置于所述炉管的外侧,所述密封法兰设置于所述炉管的外侧且与所述连接板朝向所述炉口的一端相连;

    13、所述炉门通过所述密封法兰密封所述炉口;

    14、所述连接板用于使所述炉管通过所述连接板与所述主体部相连。

    15、在一种可能的实现方式中,所述炉体还包括第二支撑机构,所述第二支撑机构设置于所述密封法兰的外周侧,且所述第二支撑机构设置于所述密封法兰朝向所述主体部的一侧,以使所述第二支撑机构将所述密封法兰支撑于所述主体部。

    16、在一种可能的实现方式中,所述第二支撑机构包括第一承托结构,所述第一承托结构与所述密封法兰的外侧壁抵接,且所述第一承托结构位于所述炉管朝向所述主体部的一侧;

    17、所述第一承托结构上与所述密封法兰的外侧壁相抵接的表面为弧形面,以使所述第一承托结构通过所述弧形面贴合所述密封法兰的外侧壁。

    18、在一种可能的实现方式中,所述第二支撑机构还包括缓冲结构,所述缓冲结构设置于所述第一承托结构的所述弧形面上,以使所述弧形面通过所述缓冲结构抵接所述密封法兰的外侧壁。

    19、在一种可能的实现方式中,所述第二支撑机构还包括第二底座,所述第二底座设置于所述第一承托结构背向所述炉管的一侧,以使所述第一承托结构通过所述第二底座连接所述主体部。

    20、在一种可能的实现方式中,所述第二支撑机构还包括两个沿所述第二方向间隔排布的第二承托结构,所述第二承托结构设置于所述连接板,且所述第二承托结构位于所述第一承托结构背向所述主体部的一侧;

    21、所述密封法兰位于两个所述第二承托结构之间,且所述第二承托结构位于所述炉管的中心轴线和所述第一承托结构之间,所述第二承托结构用于承托密封法兰。

    22、在一种可能的实现方式中,所述密封法兰包括第一法兰和第二法兰,所述第一法兰设置于所述炉管的外侧壁用于所述连接板相连,所述第二法兰设置于所述炉门朝向所述炉口的一侧,所述炉门和所述炉口通过所述第一法兰和所述第二法兰的连接相连;

    23、所述第二承托结构为支撑柱,所述支撑柱的一端设置于所述连接板,所述第二法兰与所述第一法兰相连时,所述支撑柱的另一端背向所述连接板朝向延伸并连接所述第二法兰。

    24、本申请实施例的第二方面提供一种工艺炉,其包括主体部,以及如上所述的炉体;

    25、所述炉体包括炉管和第一支撑机构,所述炉管通过第一支撑机构连接所述主体部,以使所述主体部通过所述第一支撑机构支撑连接所述炉管。

    26、本申请实施例提供一种炉体及工艺炉,该炉体包括炉管、炉门、密封机构和两个第一支撑机构。炉管沿第一方向延伸的一端具有炉口,密封机构设置于炉管朝向炉口的一端,炉门通过密封机构与炉管相连并通过密封机构密封炉口,两个第一支撑机构在垂直于第一方向的第二方向上间隔排布,炉管位于两个第一支撑机构之间,两个支撑机构用于与工艺炉的主体部相连,两个第一支撑机构用于支撑炉管,从而能够降低炉管在高温下受重力作用下垂的几率,提高了炉体的使用稳定性以及使用寿命。



    技术特征:

    1.一种炉体,其特征在于,包括炉管、炉门、密封机构和两个第一支撑机构;

    2.根据权利要求1所述的炉体,其特征在于,每个所述第一支撑机构均包括第一底座和支撑杆;

    3.根据权利要求1所述的炉体,其特征在于,所述密封机构包括连接板和密封法兰;

    4.根据权利要求3所述的炉体,其特征在于,所述炉体还包括第二支撑机构,所述第二支撑机构设置于所述密封法兰的外周侧,且所述第二支撑机构设置于所述密封法兰朝向所述主体部的一侧,以使所述第二支撑机构将所述密封法兰支撑于所述主体部。

    5.根据权利要求4所述的炉体,其特征在于,所述第二支撑机构包括第一承托结构,所述第一承托结构与所述密封法兰的外侧壁抵接,且所述第一承托结构位于所述炉管朝向所述主体部的一侧;

    6.根据权利要求5所述的炉体,其特征在于,所述第二支撑机构还包括缓冲结构,所述缓冲结构设置于所述第一承托结构的所述弧形面上,以使所述弧形面通过所述缓冲结构抵接所述密封法兰的外侧壁。

    7.根据权利要求6所述的炉体,其特征在于,所述第二支撑机构还包括第二底座,所述第二底座设置于所述第一承托结构背向所述炉管的一侧,以使所述第一承托结构通过所述第二底座连接所述主体部。

    8.根据权利要求5所述的炉体,其特征在于,所述第二支撑机构还包括两个沿所述第二方向间隔排布的第二承托结构,所述第二承托结构设置于所述连接板,且所述第二承托结构位于所述第一承托结构背向所述主体部的一侧;

    9.根据权利要求8所述的炉体,其特征在于,所述密封法兰包括第一法兰和第二法兰,所述第一法兰设置于所述炉管的外侧壁用于所述连接板相连,所述第二法兰设置于所述炉门朝向所述炉口的一侧,所述炉门和所述炉口通过所述第一法兰和所述第二法兰的连接相连;

    10.一种工艺炉,其特征在于,包括主体部,以及如权利要求1至9中任一项所述的炉体;


    技术总结
    本申请提供一种炉体及工艺炉,涉及半导体设备技术领域,该炉体包括炉管、炉门、密封机构和两个第一支撑机构。炉管沿第一方向延伸的一端具有炉口,密封机构设置于炉管朝向炉口的一端,炉门通过密封机构与炉管相连并通过密封机构密封炉口,两个第一支撑机构在垂直于第一方向的第二方向上间隔排布,炉管位于两个第一支撑机构之间,两个支撑机构用于与工艺炉的主体部相连,两个第一支撑机构用于支撑炉管,从而能够降低炉管在高温下受重力作用下垂的几率,提高了炉体的使用稳定性以及使用寿命。

    技术研发人员:请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名
    受保护的技术使用者:赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司
    技术研发日:20231229
    技术公布日:2024/11/26
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