本申请涉及传感器，特别是涉及一种微型湿度传感器和湿度测量方法。
背景技术：
1、湿度测量方法多种多样，其中干湿球温度法是一种比较常见的方法，利用干湿球温度差来测量空气湿度。
2、现有技术中，有人提出利用纤维素代替细纱布，作为湿球温度计的湿球材料，配合热电偶技术，干湿球湿度传感器可以实现高精度的湿度测量，误差约在0.99rh以内，且能够在多种通风速度（从0.1 m/s到10.6 m/s）下保持稳定的测量性能，但是传感器的结构复杂且体积较大，无法满足某些精密控制场合的需求。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种结构紧凑，能满足精密控制场合需求的微型湿度传感器和湿度测量方法。
2、第一方面，本申请提供了一种微型湿度传感器，该微型湿度传感器包括：
3、压电泵结构，压电泵结构包括进气口、压电双晶片、空腔、出气口；空腔的顶部和底部均设置有缺口，进气口与空腔的底部缺口连接，出气口与空腔的顶部缺口连接，进气口和出气口为具有预设长度的通风管；压电双晶片位于空腔内部，与进气口的距离为预设距离，用于将待测气体从进气口中泵入空腔中，从出气口中排出；湿球温度计，湿球温度计位于出气口内侧，用于测量湿端温度；干球温度计，干球温度计位于出气口中远离湿球温度计的另一侧，用于测量干端温度；控制器，控制器与湿球温度计和干球温度计均连接，控制器用于根据干端温度和湿端温度的温度差确定湿度信息。
4、在其中一个实施例中，微型湿度传感器还包括储水装置，储水装置与出气口连接，位于湿球温度计所在的一侧，用于为湿球温度计提供湿润环境。
5、在其中一个实施例中，微型湿度传感器还包括毛细孔阵列，毛细孔阵列与储水装置和湿球温度计均连接，用于将储水装置中的液态水引入，为湿球温度计提供湿润环境。
6、在其中一个实施例中，湿球温度计为铂电阻温度计。
7、在其中一个实施例中，干球温度计为铂电阻温度计。
8、在其中一个实施例中，控制器还与压电双晶片连接，控制器用于控制压电双晶片的驱动电压，以在出气口形成可控气流。
9、第二方面，本公开实施例提供一种微型湿度传感器的湿度测量方法，应用于上述第一方面任一项微型湿度传感器，该方法包括：
10、控制器控制压电双晶片的驱动电压，以将待测气体从进气口中泵入空腔中，在出气口形成可控气流；控制器获取湿球温度计的湿端温度和干球温度计的干端温度，并根据干端温度与湿端温度的温度差确定湿度信息。
11、在其中一个实施例中，根据湿端温度与干端温度的温度差确定湿度包括：根据干端温度与湿端温度的温度差确定水气分压；根据水气分压确定湿度信息。
12、在其中一个实施例中，根据干端温度与湿端温度的温度差确定水气分压，包括：根据水的饱和蒸气压与第一参数之差确定水气分压，第一参数根据温度差与大气压力的乘积确定。
13、在其中一个实施例中，湿度信息包括相对湿度，根据水气分压确定湿度信息，包括：根据水气分压与水的饱和蒸气压的比值确定相对湿度。
14、上述微型湿度传感器和湿度测量方法，该微型湿度传感器包括：压电泵结构，压电泵结构包括进气口、压电双晶片、空腔、出气口；空腔的顶部和底部均设置有缺口，进气口与空腔的底部缺口连接，出气口与空腔的顶部缺口连接，进气口和出气口为具有预设长度的通风管；压电双晶片位于空腔内部，与进气口的距离为预设距离，用于将待测气体从进气口中泵入空腔中，从出气口中排出；湿球温度计，湿球温度计位于出气口内侧，用于测量湿端温度；干球温度计，干球温度计位于出气口中远离湿球温度计的另一侧，用于测量干端温度；控制器，控制器与湿球温度计和干球温度计均连接，控制器用于根据干端温度和湿端温度的温度差确定湿度信息。在基于干湿球温度法测量时，干湿球必须处于恒定的通风条件下，本申请将干球温度计和湿球温度计分别设置于出气口内，通过压电双晶片将待测气体泵入空腔中，并从出气口排出，这样为湿球温度计和干球温度计提供了稳定的风场，可以准确测量出待测气体的湿度，并且由于压电双晶片体积较小，整个湿度传感器结构紧凑，可以满足精密控制场合的需求。
1.一种微型湿度传感器，其特征在于，所述微型湿度传感器包括：
2.根据权利要求1所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述微型湿度传感器还包括储水装置（8），所述储水装置（8）与所述出气口（4）连接，位于所述湿球温度计（5）所在的一侧，用于为所述湿球温度计（5）提供湿润环境。
3.根据权利要求2所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述微型湿度传感器还包括毛细孔阵列（9），所述毛细孔阵列（9）与所述储水装置（8）和所述湿球温度计（5）均连接，用于将所述储水装置（8）中的液态水引入，为所述湿球温度计（5）提供湿润环境。
4.根据权利要求1所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述湿球温度计（5）为铂电阻温度计。
5.根据权利要求1所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述干球温度计（6）为铂电阻温度计。
6.根据权利要求5所述的微型湿度传感器，其特征在于，所述控制器（7）还与所述压电双晶片（2）连接，所述控制器（7）用于控制所述压电双晶片（2）的驱动电压，以在所述出气口（4）形成可控气流。
7.一种微型湿度传感器的湿度测量方法，应用于如权利要求1-6任一项所述微型湿度传感器，其特征在于，所述方法包括：
8.根据权利要求7所述的湿度测量方法，其特征在于，所述根据所述湿端温度与所述干端温度的温度差确定湿度包括：
9.根据权利要求8所述的湿度测量方法，其特征在于，所述根据所述干端温度与所述湿端温度的温度差确定水气分压，包括：
10.根据权利要求8所述的湿度测量方法，其特征在于，所述湿度信息包括相对湿度，所述根据所述水气分压确定所述湿度信息，包括：
