一种氟化物提纯系统、氟化物提纯系统内的防爆加热器及使用方法与流程

1.本发明涉及氟化物提纯装置，具体涉及一种氟化物提纯系统、氟化物提纯系统内的防爆加热器及使用方法。


背景技术：

2.电加热器是一种国际流行的电加热设备,用于对流动的液态、气态介质的升温、保温、加热,当加热介质在压力作用下通过电加热器加热腔，采用流体热力学原理均匀地带走电热元件工作中所产生的巨大热量，使被加热介质温度达到用户工艺要求。
3.现有的氟化物提纯系统没有吸附剂吸附氟化物气体内杂质提纯，这一步骤，生产的氟化物内含有微量杂质。
4.因此，需要对现有技术进行改进。


技术实现要素：

5.本发明要解决的技术问题是提供高效的一种氟化物提纯系统、氟化物提纯系统内的防爆加热器及使用方法。
6.为解决上述技术问题，本发明提供一种氟化物提纯系统内的防爆加热器，包括加热容器和保温套管；
7.所述加热容器外侧套设有保温套管；
8.所述加热容器包括沿着其长度方向设置的上段、中段和下段；所述上段、中段和下段靠近中间的位置均设置有加热检测组件；
9.所述加热检测组件包括配合使用的加热管和防爆传感器；
10.所述加热管位于保温套管内，加热管螺旋设置在加热容器靠近四周的位置，加热管上还设置有防爆接线盒；
11.所述防爆传感器通过传感器安装支架固定设置在保温套管上；
12.所述传感器安装支架为圆锥台形的框架，传感器安装支架底部与保温套管固定连接为一体，传感器安装支架顶部设置有旋转套，旋转套内表面设置有内螺纹；
13.所述防爆传感器上安装旋转轴，旋转轴外表面设置有外螺纹；
14.所述旋转套与旋转轴相适配，旋转轴与旋转套螺纹连接，防爆传感器的检测探头穿过保温套管上的测温孔后与加热容器的外壁抵接；
15.所述防爆传感器通过信号管与防爆接线盒信号连接。
16.作为对本发明一种氟化物提纯系统内的防爆加热器的改进：
17.所述加热容器的上段、中段和下段为可拆卸连接。
18.作为对本发明一种氟化物提纯系统内的防爆加热器的改进：
19.本发明还提供一种氟化物提纯系统，包括ab两组防爆加热器组，每组防爆加热器组均包含依次串联的若干防爆加热器；
20.氮气通道分别与ab两组防爆加热器组进口连通；
21.氟化物气体通道分别与ab两组防爆加热器组进口连通；
22.所述ab两组防爆加热器组出口分别与后续处理设备及尾气处理设备连接。
23.本发明还提供一种氟化物提纯系统的使用方法，包括以下步骤：
24.1)、a组防爆加热器组通常温通氟化物气体，内部吸附剂吸附杂质；同时b组防爆加热器组通氮气，plc程序控制防爆加热器组中的防爆加热器加热温度，分段定时加热，使吸附剂上杂质脱附，氮气带走杂质进尾气处理设备；直到一个工作流程结束，执行步骤2；
25.2)、b组防爆加热器组通常温通氟化物气体，内部吸附剂吸附杂质；同时a组防爆加热器组通氮气，plc程序控制防爆加热器组中的防爆加热器加热温度，分段定时加热，使吸附剂上杂质脱附，氮气带走杂质进尾气处理设备；直到一个工作流程结束，执行步骤3；
26.3)、重复步骤1-2，ab组防爆加热器组交换使用。
27.本发明一种氟化物提纯系统、氟化物提纯系统内的防爆加热器及使用方法的技术优势为：
28.1.加热器做成可拆卸式，方便后期拆装维修。
29.2.吸附剂填充在内部容器中，氟化物气体也在内部容器流通，与加热器无接触。保证有毒有害气体隔绝，减少泄露可能。
30.3.加热容器采用上中下三段单独控温，保证温度精准度。
31.4.ab组防爆加热器组交换使用，增加工作效率。
附图说明
32.下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细说明。
33.图1是本发明一种氟化物提纯系统内的防爆加热器的结构示意图；
34.图2是图1中防爆传感器3与加热容器1配合使用的结构示意图；
35.图3是一种氟化物提纯系统的结构示意图。
具体实施方式
36.下面结合具体实施例对本发明进行进一步描述，但本发明的保护范围并不仅限于此。
37.实施例1、一种氟化物提纯系统内的防爆加热器，如图1所示，包括加热容器1和保温套管2。
38.加热容器1外表面覆盖套设有保温套管2。
39.加热容器1沿着其长度方向设置有若干加热检测组件；加热容器1两端分别设有进气口14和出气口15。
40.在本实施例中，将加热容器1从上到下依次等距分为上段11、中段12和下段13共三段，每段的靠近中间的位置均设置有加热检测组件，分为三段可以方便后续对加热容器1进行分段单独控制，从而保证温度精准度。
41.加热检测组件包括配合使用的加热管4和防爆传感器3；
42.加热管4位于保温套管2内，加热管4螺旋设置在加热容器1靠近四周的位置，通过控制加热管4对加热容器1进行升温加热，加热管4上还设置有防爆接线盒41。
43.防爆传感器3通过传感器安装支架31固定设置在保温套管2上；
44.传感器安装支架31为圆锥台形的框架，传感器安装支架31底部与保温套管2固定连接为一体，传感器安装支架31顶部设置有旋转套32，旋转套32内表面设置有内螺纹；
45.防爆传感器3上安装旋转轴33，旋转轴33外表面设置有外螺纹；
46.旋转套32与旋转轴33相适配，旋转轴33与旋转套32螺纹连接，防爆传感器3的检测探头34穿过保温套管2上的测温孔21后与加热容器1的外壁抵接；
47.通过转动防爆传感器3，可以使得旋转轴33与旋转套32旋动，从而调整检测探头34在测温孔21中的伸入长度，从而调整检测探头34是否与加热容器1的外壁抵接。
48.防爆传感器3通过信号管与防爆接线盒41信号连接，防爆传感器3检测加热容器1中的温度然后传输到防爆接线盒41，根据防爆传感器3检测到的加热容器1中的温度和预先设定的温度进行温控判断，通过控制加热管4的加热功率对加热容器1的加热。
49.在使用时，通过加热管4控制上段11、中段12和下段13的温度相同，三段单独控温，保证温度精准度。
50.加热容器1的上段11、中段12和下段13为可拆卸连接，在需要更换维修时，可以将上段11、中段12和下段13从保温套管2的内腔中依次取出，更换维修相应的部件，再重新组装回去。
51.加热容器1的上段11、中段12和下段13内部填充有氟化物吸附剂，氟化物吸附剂可以吸收氟化物气体中的大部分有毒有害气体，氟化物气体与加热管4无接触，能保证有毒有害气体隔绝，减少泄露可能。
52.一种氟化物提纯系统，包括ab两组防爆加热器组，每组防爆加热器组均包含依次串联的若干防爆加热器(在本实施例中防爆加热器的数量为3个)；
53.氮气通道分别与ab两组防爆加热器组进口连通；
54.氟化物气体通道分别与ab两组防爆加热器组进口连通；
55.ab两组防爆加热器组出口分别与后续处理设备及尾气处理设备连接。
56.氮气通道和氟化物气体通道上均设置有阀门。
57.一种氟化物提纯系统的使用流程，包括以下步骤：
58.1)、正常使用时，a组防爆加热器组通常温通氟化物气体，内部吸附剂吸附杂质；同时b组防爆加热器组通氮气，plc程序控制防爆加热器组中的防爆加热器加热温度，分段定时加热，使吸附剂上杂质脱附，氮气带走杂质进尾气处理设备；直到一个工作流程结束，执行步骤2；
59.2)、阀门控制气体管路，b组防爆加热器组通常温通氟化物气体，内部吸附剂吸附杂质。同时a组防爆加热器组通氮气，plc程序控制防爆加热器组中的防爆加热器加热温度，分段定时加热，使吸附剂上杂质脱附，氮气带走杂质进尾气处理设备；直到一个工作流程结束，执行步骤3；
60.3)、重复步骤1-2，ab组防爆加热器组交换使用，增加工作效率。
61.最后，还需要注意的是，以上列举的仅是本发明的若干个具体实施例。显然，本发明不限于以上实施例，还可以有许多变形。本领域的普通技术人员能从本发明公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本发明的保护范围。