处理液供给装置的制作方法

1.本公开涉及一种处理液供给装置。


背景技术：

2.专利文献1中公开了一种更换药液收纳容器的方法。在该方法中，使用以与容器的配置方式大致相同的方式配置有各led的led显示部，在容器内的药液空了时，点亮led显示部的对应的led。操作者在更换容器71的作业之前，通过条形码读取器来读取未使用容器的条形码。条形码读取对照机将未使用容器的条形码数据与登记在数据库中的同点亮中的led对应的容器的条形码数据进行对照。而且，在通过条形码读取对照机判断为两容器的药液种类相同的情况下，led的显示从点亮显示转移到闪烁显示。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2006-218391号公报


技术实现要素：

6.实用新型要解决的问题
7.本公开所涉及的技术在处理液供给装置中对处理液的贮存容器进行更换时，以更换作业中的作业者能够立即视觉辨认的方式通知更换后的贮存容器是否适当。
8.用于解决问题的方案
9.本公开的一个方式是对使用处理液来处理基板的基板处理装置供给处理液的处理液供给装置，处理液供给装置具备：收容部，其具有多个分区，各分区被从一侧面侧设置贮存有处理液的贮存容器；获取部，针对所述分区分别设置所述获取部，所述获取部从附在设置于对应的所述分区的所述贮存容器的侧面的识别信息保持部获取该贮存容器的识别信息；以及通知部，针对所述分区分别设置所述通知部，所述通知部基于对应的所述分区的所述获取部的获取结果，以发光元件的发光状态来通知该分区中的所述贮存容器的设置状态，其中，所述通知部的所述发光元件向所述一侧面侧发光。
10.在一个可能的实施方式中，也可以是，所述收容部具有第一设置台以及第二设置台，所述第一设置台以及所述第二设置台分别具有所述分区，所述获取部具有针对所述第一设置台设置的第一获取部和针对所述第二设置台设置的第二获取部，所述通知部具有针对所述第一设置台设置的第一通知部和针对所述第二设置台设置的第二通知部，所述第二设置台位于比所述第一设置台低的位置，以所述第一设置台的高度位置为基准的所述第一通知部的高度位置比以所述第二设置台的高度位置为基准的所述第二通知部的高度位置低。
11.在一个可能的实施方式中，也可以是，所述第一设置台以及所述第二设置台分别具有在水平方向排列的多个所述分区，所述第一通知部集中配置在所述第一设置台的侧方，所述第二通知部按所述第二设置台中的每个所述分区，配置在对应的所述分区的周围。
12.在一个可能的实施方式中，也可以是，所述第一设置台具有：个别收容部，其个别地收容所述贮存容器；以及升降构件，其使所述个别收容部在该第一设置台上的位置与比该第一设置台靠下方的位置之间进行升降。
13.在一个可能的实施方式中，也可以是，还具有进行互锁的机构，该互锁用于使从设置于所述分区的所述贮存容器供给处理液的动作不能进行，在设置于所述分区的更换后的所述贮存容器不是应该设置在该分区的贮存容器的情况下，所述互锁被设为有效。
14.在一个可能的实施方式中，也可以是，所述通知部具有以互不相同的颜色来进行发光的2个所述发光元件。
15.实用新型的效果
16.根据本公开，在处理液供给装置中对处理液的贮存容器进行更换时，能够以更换作业中的作业者能够立即视觉辨认的方式来通知更换后的贮存容器是否适当。
附图说明
17.图1是示出具备本实施方式所涉及的处理液供给装置的晶圆处理系统的内部结构的概要的说明图。
18.图2是示意性地示出晶圆处理系统的正面侧的内部结构的概要的图。
19.图3是示意性地示出晶圆处理系统的背面侧的内部结构的概要的图。
20.图4是示出晶处理系统的外观的概要的主视图。
21.图5是示出触摸面板所显示的显示画面的一例的图。
22.图6是示出处理液的贮存容器的结构的概要的立体图。
23.图7是示出收容装置的结构的概要的侧视图，并且示出设置有贮存容器的状态。
24.图8是示出收容装置的结构的概要的侧视图，并且示出未设置贮存容器的状态。
25.图9是示出设置于第二设置台的保持件的结构的概要的立体图。
26.图10是示出设置于第一设置台的保持件的结构的概要的立体图。
27.图11是示出从设置于收容装置的贮存容器供给处理液的机构的结构概要的说明图。
28.图12是示出贮存容器的更换方法的流程的流程图。
具体实施方式
29.在半导体器件等的制造工艺中，为了在半导体晶圆(下面称为“晶圆”。)上形成抗蚀图案，进行在晶圆上涂布抗蚀液从而形成抗蚀膜的处理、向晶圆上供给显影液从而对抗蚀膜进行显影处理的处理等，进行各种液处理。这些液处理由搭载有在各种液处理装置、装置间搬送晶圆的搬送机构等的基板处理系统来进行。
30.在这种基板处理系统中，从贮存该处理液的贮存容器对各种液处理装置供给各种处理液。另外，例如抗蚀液、显影液那样在处理液中使用多个种类的处理液，并且，抗蚀液等本身也使用多个种类。因此，基板处理系统中配置有很多处理液的贮存容器。
31.在像这样配置有很多贮存容器的状态下更换处理液的贮存容器的方法之一是前述的专利文献1中公开的方法。但是，在该专利文献1所公开的方法中，在作业者将通过条形码读取器读取出条形码的未使用的贮存容器设置在了错误的位置时，由于作业者无法知道
这一点，因此有时会供给错误的处理液。
32.而且，对于如上所述那样作业者将未使用的贮存容器设置在了错误的地点这件事，优选的是，作业者能够立即(即当场)识别。这是为了尽量缩短更换作业时间。
33.因此，本公开所涉及的技术在对处理液的贮存容器进行更换时，以更换作业中的作业者能够立即视觉辨认的方式来通知更换后的贮存容器是否适当。
34.下面一边参照附图一边说明本实施方式所涉及的处理液供给装置以及通知方法。此外，在本说明书中，对实质上具有相同的功能结构的要素标注相同的附图标记，从而省略重复说明。
35.《晶圆处理系统》
36.图1是示出具备本实施方式所涉及的处理液供给装置的晶圆处理系统1的内部结构的概要的说明图。图2和图3分别是示意性地示出晶圆处理系统1的正面侧和背面侧的内部结构的概要的图。图4是示出晶圆处理系统1的外观的概要的主视图。图5是示出后述的触摸面板所显示的显示画面的一例的图。图6是示出处理液的贮存容器的结构的概要的立体图。此外，在下面的例子中，晶圆处理系统1是对晶圆w进行涂布显影处理的涂布显影处理系统。
37.如图1所示，晶圆处理系统1具有：盒交接站10，其对收容有多枚晶圆w的盒c进行搬入搬出；处理站11，其具备多个对晶圆w实施规定的处理的各种处理装置。而且，晶圆处理系统1具有将盒交接站10、处理站11、以及同与处理站11邻接的曝光装置12之间进行晶圆w的交接的接口站13连接为一体所得到的结构。
38.在盒交接站10设置有盒载置台20。在盒载置台20设置有多个盒载置板21，盒载置板21用于在将盒c相对于晶圆处理系统1的外部搬入搬出时载置盒c。
39.在盒交接站10设置有在沿x方向延伸的搬送路22上移动自如的晶圆搬送装置23。晶圆搬送装置23还在上下方向和绕铅直轴(θ方向)移动自如，能够在各盒载置板21上的盒c与后述的处理站11的第三子块g3的交接装置之间搬送晶圆w。
40.在处理站11设置有具备各种装置的多个子块，例如4个子块g1、g2、g3、g4。例如在处理站11的正面侧(图1的x方向负方向侧)设置有第一子块g1，在处理站11的背面侧(图1的x方向正方向侧)设置有第二子块g2。另外，在处理站11的盒交接站10侧(图1的y方向负方向侧)设置有第三子块g3，在处理站11的接口站13侧(图1的y方向正方向侧)设置有第四子块g4。
41.如图2所示，在第一子块g1，多个液处理装置、例如显影处理装置30、下部防反射膜形成装置31、抗蚀剂涂布装置32、上部防反射膜形成装置33按照该顺序从下至上配置。显影处理装置30是对晶圆w进行显影处理的装置，下部防反射膜形成装置31是在晶圆w的抗蚀膜的下层形成防反射膜(下面称为“下部防反射膜”)的装置。抗蚀剂涂布装置32是对晶圆w涂布抗蚀液来形成抗蚀膜的装置，上部防反射膜形成装置33是在晶圆w的抗蚀膜的上层形成防反射膜(下面称为“上部防反射膜”)的装置。
42.例如显影处理装置30、下部防反射膜形成装置31、抗蚀剂涂布装置32、上部防反射膜形成装置33分别沿水平方向排列配置有3个。此外，能够任意地选择这些显影处理装置30、下部防反射膜形成装置31、抗蚀剂涂布装置32、上部防反射膜形成装置33的数量和配置。
43.在这些显影处理装置30、下部防反射膜形成装置31、抗蚀剂涂布装置32、上部防反射膜形成装置33中，例如通过旋转涂布法，向晶圆w上供给规定的处理液。在旋转涂布法中，例如从喷出喷嘴将处理液喷出到晶圆w上，同时使晶圆w旋转，从而使处理液在晶圆w的表面扩散。
44.如图3所示，在第二子块g2设置有进行晶圆w的加热、冷却这种热处理的热处理装置40、用于提高抗蚀液与晶圆w的定着性的粘附装置41、曝光晶圆w的外周部的周边曝光装置42。沿上下方向与水平方向排列地设置这些热处理装置40、粘附装置41、周边曝光装置42，并能够任意地选择其数量和配置。
45.例如在第三子块g3，从下至上按照交接装置50、51、52、53、54、55的顺序设置有多个交接装置。另外，在第四子块g4，从下至上按照交接装置60、61、62的顺序设置有多个交接装置。
46.如图1所示，在由第一子块g1～第四子块g4包围的区域中形成有作为基板搬送区域的晶圆搬送区域d。在晶圆搬送区域d配置有作为基板搬送装置的晶圆搬送装置70。
47.晶圆搬送装置70例如具有沿y方向、x方向、θ方向以及上下方向移动自如的搬送臂70a。晶圆搬送装置70在晶圆搬送区域d内移动，能够对周围的第一子块g1、第二子块g2、第三子块g3以及第四子块g4内的规定的装置搬送晶圆w。如图3所示，晶圆搬送装置70例如在上下方向上配置有多台，例如能够对各子块g1～g4的同程度高度的规定的装置搬送晶圆w。
48.另外，在晶圆搬送区域d设置有在第三子块g3与第四子块g4之间直线地搬送晶圆w的梭式搬送装置80。
49.梭式搬送装置80例如在图3的y方向上直线地移动自如。梭式搬送装置80以支承着晶圆w的状态在y方向移动，能够在第三子块g3的交接装置52与第四子块g4的交接装置62之间搬送晶圆w。
50.如图1所示，在第三子块g3的x方向正方向侧相邻地设置有晶圆搬送装置90。晶圆搬送装置90例如具有沿x方向、θ方向以及上下方向移动自如的搬送臂90a。晶圆搬送装置90以支承着晶圆w的状态沿上下移动，从而能够对第三子块g3内的各交接装置搬送晶圆w。
51.在接口站13设置有晶圆搬送装置100与交接装置101。晶圆搬送装置100例如具有沿y方向、θ方向以及上下方向移动自如的搬送臂100a。晶圆搬送装置100能够例如将晶圆w支承在搬送臂100a上来在第四子块g4内的各交接装置、交接装置101和曝光装置12之间搬送晶圆w。
52.如图4所示，在前述的盒交接站10设置有触摸面板110，其还作为对示出各种信息的画面进行显示的显示装置来发挥功能。触摸面板110具有由液晶面板、有机el面板等构成的显示器件。另外，触摸面板110例如以其显示面朝向正面侧(图4的x方向负方向侧)的方式设置于盒交接站10的处理站11侧。
53.触摸面板110所显示的显示画面例如是图5所示那样的显示画面p，在该显示画面p具有按每个后述的rfid读取器进行示出的区域r1、r2，在区域r1、r2用
“●”
与“〇”表示是否由后述的rfid读取器探测出后述的rfid标签。例如，
“●”
表示探测出，“〇”表示未探测出。在显示画面p中，位于上侧的区域r1示出了多个rfid读取器中的位于上方的rfid读取器的信息。另外，在显示画面p中，位于下侧的区域r2示出了多个rfid读取器中的位于下方的rfid读取器的信息。
54.触摸面板110除图5的显示画面p之外，还能够显示用于进行与后述的rfid标签相关的设定的设定画面、用于显示在晶圆处理系统1中当前产生的错误的信息的错误画面等。
55.另外，如图1和图4所示，在处理站11中还设置有处理液供给装置200所具有的收容装置201。收容装置201是收容贮存处理液的贮存容器b(参照图6)的装置，如图1和图4所示，例如设置在处理站11的盒交接站10侧的靠下方的位置。
56.收容装置201构成为能够沿在前后方向(图1和图4的x方向)上延伸的导轨(未图示)移动，由此，沿前后方向移动自如。在通常时，收容装置201收在处理站11内，在贮存容器b更换时，被从处理站11拉出到身前侧，由此，作业者能够从收容装置201中除去贮存容器b，或将贮存容器b设置在收容装置201中。
57.在由收容装置201收容的贮存容器b中，例如贮存有抗蚀液来作为处理液。另外，如图6所示，在贮存容器b付有作为识别信息保持部的rfid标签b1。具体来说，rfid标签b1例如贴付在贮存容器b的侧面。该rfid标签b1保持贴付有该rfid标签b1的贮存容器b的识别信息。rfid标签b1所保持的贮存容器b的识别信息例如是该贮存容器的产品名的信息。
58.如图1所示，在具备以上的结构要素的晶圆处理系统1中，设置有控制装置u。控制装置u例如由具备cpu、存储器等的计算机构成，具有程序保存部(未图示)。在程序保存部中保存有控制晶圆处理系统1中的后述的晶圆处理的程序、以及后述的通知更换后的贮存容器b是否适当的程序。另外，也可以由plc(programmable logic controller：可编程序逻辑控制器)来进行控制装置u所进行的控制的一部分或全部。此外，上述程序也可以是，记录在计算机可读取的存储介质h中，从该存储介质h安装到控制装置u。也可以是，由专用硬件(电路基板)来实现程序的一部分或全部。
59.《晶圆处理》
60.接着说明使用晶圆处理系统1来进行的晶圆处理。
61.首先，收纳有多个晶圆w的盒c载置于盒交接站10的规定的盒载置板21。之后，由晶圆搬送装置23依次取出盒c内的各晶圆w，搬送到处理站11的第三子块g3的例如交接装置52。
62.接着，晶圆w被晶圆搬送装置70搬送到例如第一子块g1的下部防反射膜形成装置31，在晶圆w上形成下部防反射膜。之后，晶圆w被晶圆搬送装置70搬送到第二子块g2的热处理装置40，进行加热处理。
63.接下来，晶圆w被晶圆搬送装置70搬送到抗蚀剂涂布装置32，在晶圆w上形成抗蚀膜。之后，晶圆w被晶圆搬送装置70搬送到热处理装置40，进行预烘焙处理。此外，在预烘焙处理中也进行与下部防反射膜形成后的热处理同样的处理，另外，在后述的防反射膜形成后的热处理、peb处理、后烘焙处理中也进行同样的处理。但是，用于各热处理的热处理装置40互不相同。
64.接着，晶圆w被晶圆搬送装置70搬送到上部防反射膜形成装置33，在晶圆w上形成上部防反射膜。之后，晶圆w被搬送到热处理装置40，进行加热处理。之后，晶圆w被晶圆搬送装置70搬送到周边曝光装置42，进行周边曝光处理。
65.接着，晶圆w被晶圆搬送装置70搬送到交接装置52，被梭式搬送装置80搬送到第四子块g4的交接装置62。之后，晶圆w被接口站13的晶圆搬送装置100搬送到曝光装置12，被以规定的图案进行曝光处理。接着，晶圆w被晶圆搬送装置100搬送到第四子块g4的交接装置
60。之后，晶圆w被晶圆搬送装置70搬送到热处理装置40，进行peb处理。
66.接着，晶圆w被晶圆搬送装置70搬送到显影处理装置30，进行显影处理。在显影处理后，晶圆w被晶圆搬送装置70搬送到热处理装置40，进行后烘焙处理。
67.接下来，晶圆w被晶圆搬送装置70搬送到第三子块g3的交接装置50。之后，晶圆w被盒交接站10的晶圆搬送装置23搬送到规定的盒载置板21的盒c，从而完成一系列的光刻工序。然后，对相同盒c内的后续的晶圆w也实施该一系列的光刻工序。
68.《收容装置》
69.接下来，说明收容装置201的结构。图7和图8是示出收容装置201的结构的概要的侧视图，图7示出设置有贮存容器b的状态，图8示出未设置贮存容器b的状态。图9和图10分别是示出收容装置201所具有的后述的保持件的结构的概要的立体图。
70.如图7和图8所示，收容装置201具备作为收容部的搁架210，该搁架210具有多个分区(下面有时称为“设置分区”。)k，各分区k被从一侧面侧(图中的y方向正侧)设置贮存容器b。
71.搁架210具有第一设置台220和第二设置台221，第一设置台220和第二设置台221分别具有设置分区k，第二设置台221位于比第一设置台220更靠底侧、即比第一设置台220更低的位置。搁架210内的空间被搁架板211、212在上下方向上分割成3部分，例如，位于上侧的搁架板211构成第一设置台220，位于下侧的搁架板212构成第二设置台221。第二设置台221的高度位置例如是80cm～105cm，与此相对，第一设置台220的高度位置例如是相对较高的140cm～165cm。
72.另外，第一设置台220和第二设置台221分别具有在水平方向(图中的x方向)排列的多个(图中的例子中是3个)设置分区k。以下有时将第一设置台220的3个设置分区k从图中的x方向负侧起依次称为设置分区k11、设置分区k12、设置分区k13，将第二设置台221的3个设置分区k从图中的x方向负侧起依次称为设置分区k21、设置分区k22、设置分区k23。
73.另外，收容装置201具备rfid读取器230、231来作为从贴付在贮存容器b的侧面的rfid标签b1读取(即获取)该贮存容器b的识别信息的获取部。针对设置分区k分别设置rfid读取器230、231，具体来说，针对第一设置台220的设置分区k分别设置作为第一获取部的rfid读取器230，针对第二设置台221的设置分区k分别设置作为第二获取部的rfid读取器231。rfid读取器230、231的获取结果通过无线通信和有线通信中的至少任一方输出到控制装置u(参照图1)。也可以经由io-link主站来进行rfid读取器230、231与控制装置u之间的通信的一部分或全部。
74.控制装置u按每个rfid读取器230、231，基于其获取结果，来判定对应的设置分区k中的贮存容器b的设置状态。在控制装置u进行的上述的判定中例如有以下判定。
75.(1)判定设置于对应的设置分区k的贮存容器b是否为应该设置在该设置分区k的贮存容器b
76.(2)判定是否探测出贮存容器b的rfid标签
77.关于上述(1)的判定，例如基于rfid读取器230、231的获取结果，参照预先存储在存储部(未图示)中的各设置分区k与适当的贮存容器b的识别信息相关联的表来进行。上述适当的贮存容器b的识别信息例如是在晶圆处理系统1中准备的该识别信息的登记模式时登记于上述表中的。具体来说，在由作业者从触摸面板所显示的选择画面(未图示)中选择
登记模式且在适当的设置分区k设置了适当的贮存容器b时，由与该设置分区k对应的rfid读取器230(或者rfid读取器231)读取出的结果被作为上述适当的贮存容器b的识别信息登记在上述表中。该登记例如在晶圆处理系统1的启动时、伴随着处理液的变更的处理制程的变更时进行。另外，上述登记也可以在每次贮存容器b更换时进行。
78.并且，收容装置201还针对设置分区k分别设置通知部240、241。具体来说，还针对第一设置台220的设置分区k分别设置通知部(下面有时称为“第一通知部”。)240，针对第二设置台221的设置分区k分别设置通知部(下面有时称为“第二通知部”。)241。
79.各通知部240、241基于对应的设置分区k的rfid读取器230、231的获取结果，以2个发光元件250、251的发光状态来通知该设置分区k中的贮存容器b的设置状态。发光元件250、251例如是led。
80.该通知部240、241的发光元件250、251配设为朝向作业者在贮存容器b的更换作业时所处的一侧、即上述一侧面侧(图中的y方向正侧)发光。
81.发光元件250与发光元件251以互不相同的颜色进行发光。例如，发光元件250发绿色的光，发光元件251发红色的光。
82.发光元件250、251的发光被控制装置u控制。
83.通知部240、241在例如设置于对应的设置分区k的贮存容器b是应该设置在该设置分区k的贮存容器的情况下，即适当的情况下，使绿色的发光元件250处于点亮状态，在不适当的情况下，使红色的发光元件251处于点亮状态。
84.另外，通知部240、241例如在从设置于对应的设置分区k的rfid读取器230、231对rfid标签b1进行探测开始到完成对设置于对应的设置分区k的贮存容器b是否适当的判定为止的期间，使绿色的发光元件250与红色的发光元件251两者处于以短间隔同时闪烁的状态。由此，通知部240、241通知正在进行上述判定。
85.并且，通知部240、241在例如设置于对应的设置分区k的rfid读取器230、231未探测出rfid标签b1的情况下，即，对应的设置分区k中未设置贮存容器b的情况(或者，贮存容器b向对应的设置分区k的设置方法不好的情况)下，使发光元件250、251两者处于以长间隔同时闪烁的状态。由此，通知部240、241如上所述那样通知未探测出rfid标签b1。
86.通知部240、241还能够以发光元件250、251的发光状态通知除设置于对应的设置分区k的贮存容器b的设置状态以外的信息。
87.例如，在rfid读取器230、231发生了异常的情况下，通知部240、241使发光元件250、251两者处于以短间隔交替地闪烁的状态，以通知该情况。
88.例如，在负责通知部240、241与控制装置u之间的通信的设备(例如io-link主站)发生了异常的情况下，使利用该设备的通知部240、241的发光元件250、251两者处于以短间隔交替地闪烁的状态，以通知该情况。
89.另外，例如，在控制装置u的与处理液供给装置200有关的控制部分发生了异常的情况下，使所有的通知部240、241的发光元件250，251两者处于熄灭状态，以通知该情况。
90.像这样，通知部240、241能够通过发出互不相同的颜色的光的发光元件250、251的发光状态来通知各种信息。
91.此外，由控制装置u进行以下判定：rfid读取器230、231是否发生了异常的判定、负责通知部240、241与控制装置u之间的通信的设备是否发生了异常的判定、控制装置u的与
处理液供给装置200有关的控制部分是否发生了异常的判定。
92.另外，第一通知部240和第二通知部241的高度位置如下。
93.即，以第一设置台220的高度位置为基准的第一通知部240的高度位置比以第二设置台221的高度位置为基准的第二通知部241的高度位置低。具体来说，以设置于第一设置台220的设置分区k的贮存容器b的位置为基准的、针对该设置分区k设置的第一通知部240的相对高度位置，比以设置于第二设置台221的设置分区k的贮存容器b的位置为基准的、针对该设置分区k设置的第二通知部241的相对高度位置低。
94.因而，第一设置台220的高度位置在如前所述那样较高的情况下，即使是身高不高的作业者(例如身高为亚洲人女性的平均程度的作业者)，也能够视觉辨认第一通知部240的发光元件250、251的发光状态，能够把握对应的设置分区k中的贮存容器b的设置状态。
95.另外，第一通知部240集中配置在第一设置台220的侧方，相对于此，第二通知部241按第二设置台221中的每个设置分区k，设置在对应的设置分区k的周围。
96.第一通知部240设置于身前侧(图7的y方向正侧)，第二通知部241设置于后侧(图7的y方向负侧)。作为像这样使第一通知部240与第二通知部241在深度方向(图中的y方向)上所处的位置不同的理由，例如列举以下的理由。即，理由为：对于按每个设置分区k设置于对应的设置分区k的周围的第二通知部241，在被设置在身前侧(图中的y方向正侧)的情况下，针对该通知部241的布线等可能会妨碍贮存容器b的更换作业。
97.此外，第一通知部240例如沿上下方向排列地设置。上侧的第一通知部240与设置分区k11对应，中央的第一通知部240与设置分区k12对应，下侧的第一通知部240与设置分区k13对应。
98.并且，收容装置201针对每个设置分区k设置有保持件260或保持件261。而且，针对第一设置台220的设置分区k设置的保持件260与针对第二设置台221的设置分区k设置的保持件261的结构不同。
99.如图9所示，保持件261具有个别地收容贮存容器b的个别收容部300，个别收容部300固定于第二设置台221(参照图7)。个别收容部300具有：支承贮存容器b的底面的底板301、包围被底板301支承的贮存容器b的侧方周围的侧面板302、303、正面板304、以及背面板305。
100.在设置于后侧(图9的y方向负侧)的背面板305的身前侧(图9的y方向正侧)设置有rfid读取器231。
101.另外，在背面板305连接有支承通知部241的发光元件250、251的支承构件310。
102.如图10所示，与该保持件261同样地，保持件260具有个别地收容贮存容器b的个别收容部400。但是，个别收容部400不固定于第一设置台220(参照图7)，而是在作为第一设置台220上的位置的供给位置与比第一设置台220靠下方的进行贮存容器b的更换作业的更换位置之间移动自如。具体来说，上述更换位置是比上述供给位置更靠身前侧(图10的y方向正侧)的斜下方的位置。
103.为了能够进行如上述那样的移动，保持件260具有升降构件410。升降构件410是使个别收容部400在上述供给位置与上述更换位置之间升降的构件。该升降构件410例如以能够折叠的方式构成，在先端侧固定有个别收容部400，基端侧被轴支承于固定构件420。在折叠了升降构件410时，个别收容部400的位置变为上述供给位置，在延展了升降构件410时，
个别收容部400的位置变为上述更换位置。
104.固定构件420自身固定于第一设置台220。另外，在固定构件420还固定有rfid读取器230。
105.在更换保持件260所保持的贮存容器b时，作业者使个别收容部400从上述供给位置移动至上述更换位置，然后，进行个别收容部400内的贮存容器b的更换。在更换后，作业者将个别收容部400返回到上述供给位置。
106.如前所述，通过将针对高度位置较高的第一设置台220的保持件260如上所述那样构成，即使是身高不高的作业者(例如身高为亚洲人女性的平均程度的作业者)，也能够容易地进行第一设置台220的贮存容器b的更换。
107.此外，也可以在保持件260设置用于将个别收容部400的位置维持在上述供给位置或上述更换位置的锁定机构、解除锁定机构的锁定的解锁机构。另外，也可以在个别收容部400的身前侧(图10的y方向正侧)的面等的下方设置把手，以使作业者能够容易地在上述供给位置与上述更换位置之间移动个别收容部400。
108.另外，个别收容部400具有：支承贮存容器b的底面的底板401、包围被底板401支承的贮存容器b的下部的筒状壁402、与贮存容器b的后侧(图中的y方向负侧)上部相对的上部背面板403。另外，在筒状壁402的后侧(图中的y方向负侧)部分的上端中央与上部背面板403的下端中央分别设置有切口404、405。
109.在个别收容部400位于上述供给位置时，固定于固定构件420的rfid读取器230被收在该切口404、405内。因而，rfid读取器230对贴付在上述供给位置的个别收容部400内所收容的贮存容器b的rfid标签b1的读取不会被筒状壁402和上部背面板403妨碍。
110.《从贮存容器b进行供给的供给机构》
111.图11是示出从设置于收容装置201的贮存容器b供给处理液的机构的结构概要的说明图。
112.在将贮存容器b设置于收容装置201(参照图7)后，安装封住该贮存容器b的上部的开口部的盖b2。在盖b2设置有氮气等的加压气体的供给管501、处理液的供给管502。在加压气体经由供给管501供给到贮存容器b内时，贮存容器b内的处理液向供给管502内流入，加压输送到缓冲罐503。处理液从该缓冲罐503向晶圆处理系统1的各液处理装置供给。
113.另外，在供给管501设置有对经由该供给管501的加压气体的供给与供给停止进行切换的开闭阀510。在开闭阀510设置有用于使该开闭阀510执行对供给管501的开闭动作的螺线管511。控制该螺线管511的控制电路512经由布线513与螺线管511连接。
114.而且，在本实施方式中，在布线513设置有用于阻断控制电路512与螺线管511的通信的继电器514。继电器514也可以设置为能够阻断从控制电路512向螺线管511的电力供给。通过像这样设置继电器514，能够进行互锁，该互锁使得无法进行向贮存容器b供给加压气体的动作，即，无法进行从贮存容器b供给处理液的动作。也就是说，继电器514是进行上述互锁的机构。
115.上述互锁在例如设置于设置分区k的贮存容器b不是应该设置在该设置分区k的贮存容器的情况下，被设为有效。
116.此外，控制电路512与继电器514在控制装置u的控制下进行动作。
117.《更换方法》
118.接下来，对包括更换了贮存容器b时的通知贮存容器b是否适当的方法的、贮存容器b的更换方法的一例进行说明。图12是示出贮存容器b的更换方法的流程的流程图。
119.在控制装置u判定为贮存容器b空了时，为了促使贮存容器b的更换，例如在触摸面板110显示表示贮存容器b空了的意思的警告的画面(步骤s1)。在上述画面中，除上述警告之外，例如还示出应该更换的贮存容器b在收容装置201内的位置、应该准备的新的贮存容器b的信息等。此外，下面设为设置分区k11的贮存容器b空了来进行说明。
120.另外，例如如下面那样来判定贮存容器b是否空了。即，在通过设置于缓冲罐503的液面传感器(未图示)而探测到缓冲罐503内的处理液的量变少时，为了补充处理液，经由供给管501向对应的贮存容器b供给加压气体。在虽然从该加压气体的供给开始起经过规定时间但是上述液面传感器的探测结果没有变化的情况下，判定为对应的贮存容器b空了。
121.之后，在设置于设置分区k11的贮存容器b被取下时，设置分区k11的rfid读取器230检测不到rfid标签b1。在像这样检测不到时，继电器514进行动作，前述的互锁被设为有效(步骤s2)。
122.另外，在设置分区k11的rfid读取器230检测不到rfid标签b1时，设置分区k11的通知部240的发光元件250、251两者被设为以长间隔同时闪烁的状态，以从该通知部240通知该意思(步骤s3)。
123.在由作业者将新的贮存容器b设置在了设置分区k11的情况下，设置分区k11的rfid读取器230检测rfid标签b1，由此，在步骤s3中，接着由控制装置u进行设置分区k11的rfid读取器230是否检测出rfid标签b1的判定(步骤s4)。重复进行该判定直到检测出rfid标签b1为止。具体来说，更换后的贮存容器b设置在设置分区k11，重复进行判定直到通过设置于设置分区k11的rfid读取器230获取到更换后的贮存容器b的识别信息为止。
124.此外，在rfid读取器230的可读取范围窄时，在设置新的贮存容器b时，有时需要使rfid读取器230与新的贮存容器b的rfid标签b1相对。在该情况下，可以将促使rfid读取器230与新的贮存容器b的rfid标签b1相对的消息显示于步骤s1中所显示的显示画面。
125.在新的贮存容器b设置在设置分区k11、且设置分区k11的rfid读取器230检测出rfid标签b1的情况(在步骤s4中为“是”的情况)下，由控制装置u进行设置于设置分区k11的贮存容器b是否适当的判定(步骤s5)。具体来说，例如，由控制装置u基于设置分区k11的rfid读取器230获取到的、由rfid标签b1保持的新的贮存容器b的识别信息，进行该新的贮存容器b是否适当的判定。更具体来说，例如，由控制装置u判定设置分区k11的rfid读取器230所获取到的、由rfid标签b1保持的新的贮存容器b的识别信息是否与登记在前述的表中的、对于设置分区k11来说适当的贮存容器b的识别信息一致。此外，在进行该是否一致的判定时，根据需要，由控制装置u将设置分区k11的rfid读取器230获取到的上述识别信息变换为规定的字符代码。
126.步骤s5的判定的结果如以下说明那样，由设置分区k11的通知部240进行通知。
127.在步骤s5的判定的结果为适当的情况下，即识别信息一致的情况(为“是”的情况)下，设置分区k11的通知部240的发光元件250、251中的仅绿色的发光元件250变为点亮状态，以从该通知部240通知是适当的意思(步骤s6)。
128.另外，继电器514进行动作，前述的互锁被解除(无效化)(步骤s7)。
129.然后，表示设置分区k11的贮存容器b为空的意思的警告等的画面的显示被解除
(步骤s8)。该解除也可以在以下时刻进行。即，也可以是，在互锁解除后，重新开始向设置分区k11的贮存容器b供给加压气体，来从该贮存容器b供给适当的处理液，在向对应的缓冲罐503补充了规定量的时刻，解除步骤s8的警告画面显示。
130.在步骤s5中，在设置于设置分区k11的贮存容器b的识别信息与登记在前述的表中的信息不一致而该贮存容器b不适当的情况(为“否”的情况)下，设置分区k11的通知部240的发光元件250、251中的仅红色的发光元件251被设为点亮状态，以从该通知部240通知该意思(步骤s9)。
131.之后，在接受到上述通知的作业者将设置于设置分区k11的不适当的贮存容器b取下时，由于设置分区k11的rfid读取器230检测不到rfid标签b1，因此返回到步骤s3以再次通知该意思。
132.如上所述，在本实施方式中，处理液供给装置200具备搁架210，该搁架210具有多个分区k，各分区k被从一侧面侧设置贮存容器b。另外，处理液供给装置200具备针对分区k分别设置的rfid读取器230、231，该rfid读取器230、231从设置于对应的分区k的贮存容器b的rfid标签b1获取该贮存容器b的识别信息。并且，处理液供给装置200具备针对分区k分别设置的通知部240、241，该通知部240、241基于对应的分区k的rfid读取器230、231的获取结果，以发光元件250、251的发光状态来通知该分区k中的贮存容器b的设置状态。因此，根据处理液供给装置200，在贮存容器b更换时，更换作业中的作业者能够视觉辨认更换后的贮存容器b是否适当。
133.而且，在处理液供给装置200中，通知部240、241的发光元件250、251向上述一侧面侧即作业者侧发光。因而，存在以下的效果。作为与本公开所涉及的技术不同的技术(代替技术)，考虑一种通过将在本实施方式中由通知部240通知的信息显示于触摸面板110来进行通知的技术。
134.在上述代替技术中，作业者为了确认通知内容而需要移动至触摸面板110，与此相对，在本实施方式中，由于发光元件250、251如上所述那样朝向作业者侧发光，因此作业者无需移动而能够当场立即确认发光元件250、251的通知内容。
135.也就是说，根据处理液供给装置200，在贮存容器b更换时，能够以更换作业中的作业者能够立即视觉辨认的方式来通知更换后的贮存容器b是否适当。
136.特别是，根据本实施方式，不依赖于作业者的熟练度，作业者能够当场判断设置于分区k的贮存容器b是否适当。
137.另外，在本实施方式中，针对第一设置台220的通知部240被集中配置在第一设置台220的侧方。因此，即使将通知部240设置在身前侧(图7等中的y方向正侧)即作业者侧，第一设置台220的设置分区k的贮存容器b的更换作业也不会被针对通知部240的布线等妨碍。另外，由于通知部240位于身前侧，因此作业者能够更容易地视觉辨认通知部240的通知。特别是，在作业者的身高低的情况下，若针对高度位置高的第一设置台220的通知部240位于后侧，则作业者可能无法视觉辨认通知部240的通知，但是通过使通知部240位于身前侧，能够防止该情况的发生。
138.并且，在本实施方式中，针对第二设置台221的通知部241按每个设置分区k，配置在对应的设置分区k的周围。由此，使得作业者能够更容易地把握通知部241与设置分区k的对应关系。
139.另外，通知部241设置于后侧(图7等中的y方向负侧)，即距离作业者远的位置，因此，设置有通知部241的第二设置台221的设置分区k的贮存容器b的更换作业不会被针对通知部241的布线等妨碍。另外，由于设置有通知部241的第二设置台221的高度位置低，因此即使是身高低的作业者，也能够视觉辨认设置于后侧的通知部241的通知。
140.另外，在本实施方式中，通知部240、241具有由以互不相同的颜色发光的2个发光元件250、251构成的简易的结构。而且，通过该2个发光元件250、251的发光状态，能够对包括设置于各分区k的贮存容器b是否适当的、与处理液供给装置200相关的很多状态进行通知。也就是说，在本实施方式中，通知部240、241能够通过简易的结构来通知与处理液供给装置200相关的很多状态。
141.并且，在本实施方式中，设置有用于进行互锁的继电器514，互锁用于使从贮存容器b供给处理液的动作不能进行，在设置于设置分区k的贮存容器b不适当的情况下，上述互锁被设为有效。因而，能够防止供给不适当的处理液。其结果，能够防止在缓冲罐503中适当的处理液与不适当的处理液混合、防止发生产品不良。
142.《变形例》
143.此外，各通知部240、241所具有的发光元件的数量不限于2个，也可以是1个，也可以是3个以上。
144.在以上的例子中，在更换时对设置于设置分区k的贮存容器b是否适当的判定中，使用了该贮存容器b的产品名的信息。在rfid标签b1中有时保持有贮存容器b的其他识别信息(例如处理液的种类的信息、批号等)来代替上述产品名的信息，或是除上述产品名的信息之外还保持有贮存容器b的其他识别信息。在该情况下，也可以将上述其它识别信息使用于上述是否适当的判定中。另外，也可以基于rfid标签b1所保持的贮存容器b的识别信息中的多个信息来进行上述是否适当的判定。
145.例如，通过作业者观察显示于触摸面板110的设定画面并对触摸面板110进行操作，来设定将rfid标签b1所保持的贮存容器b的识别信息中的哪一个用于上述是否适当的判定。
146.在以上的例子中，仅通过通知部240、241的发光状态来通知设置于设置分区k的贮存容器b是否适当。除此之外，也可以是，通过音输出单元的音或者声音输出单元的声音来通知设置于设置分区k的贮存容器b是否适当。
147.另外，在以上的例子中，通过触摸面板110的画面显示来通知贮存容器b空了的意思的警告，但是也可以是，除此之外通过音输出单元的音或者声音输出单元的声音来通知上述警告，或者通过音输出单元的音或者声音输出单元的声音代替触摸面板110的画面显示来通知上述警告。由此能够防止看漏。
148.在以上的例子中，搁架210在深度方向(图7等中的y方向)上仅设置有一列贮存容器b，但也可以在深度方向上设置两列贮存容器b。在该情况下，后侧(图7等中的y方向负侧)的贮存容器b被从搁架210的后侧起设置，针对该贮存容器b的通知部240、241朝向后侧发光。
149.另外，在以上的例子中，搁架210具有第一设置台220和第二设置台221这2个在高度方向上排列的设置台，但也可以具有在高度方向上排列的3个以上的设置台。在该情况下，比第一设置台220高的位置的设置台与第一设置台220同样地设置有rfid读取器230、通
知部240、以及保持件260，比第二设置台221低的位置的设置台与第二设置台221同样地设置有rfid读取器231、通知部241、以及保持件261。
150.应该认为本次公开的实施方式在所有方面是例示性的而非限制性的。上述的实施方式可以在不脱离所附的权利要求书及其主旨的情况下以各种方式进行省略、置换、变更。
151.附图标记说明
152.30：显影处理装置；31：下部防反射膜形成装置；32：抗蚀剂涂布装置；33：上部防反射膜形成装置；200：处理液供给装置；210：搁架；230、231：rfid读取器；240、241：通知部；250、251：发光元件；b：贮存容器；b1：rfid标签；h：存储介质；k：分区；w：晶圆。

技术特征：
1.一种处理液供给装置，对使用处理液来处理基板的基板处理装置供给处理液，该处理液供给装置的特征在于，具备：收容部，其具有多个分区，各分区被从一侧面侧设置贮存有处理液的贮存容器；获取部，针对所述分区分别设置所述获取部，所述获取部从附在设置于对应的所述分区的所述贮存容器的侧面的识别信息保持部获取该贮存容器的识别信息；以及通知部，针对所述分区分别设置所述通知部，所述通知部基于对应的所述分区的所述获取部的获取结果，以发光元件的发光状态来通知该分区中的所述贮存容器的设置状态，其中，所述通知部的所述发光元件朝向所述一侧面侧发光。2.根据权利要求1所述的处理液供给装置，其特征在于，所述收容部具有第一设置台以及第二设置台，所述第一设置台以及所述第二设置台分别具有所述分区，所述获取部具有针对所述第一设置台设置的第一获取部和针对所述第二设置台设置的第二获取部，所述通知部具有针对所述第一设置台设置的第一通知部和针对所述第二设置台设置的第二通知部，所述第二设置台位于比所述第一设置台低的位置，以所述第一设置台的高度位置为基准的所述第一通知部的高度位置比以所述第二设置台的高度位置为基准的所述第二通知部的高度位置低。3.根据权利要求2所述的处理液供给装置，其特征在于，所述第一设置台以及所述第二设置台分别具有在水平方向排列的多个所述分区，所述第一通知部集中配置在所述第一设置台的侧方，所述第二通知部按所述第二设置台中的每个所述分区，配置在对应的所述分区的周围。4.根据权利要求2或3所述的处理液供给装置，其特征在于，所述第一设置台具有：个别收容部，其个别地收容所述贮存容器；以及升降构件，其使所述个别收容部在该第一设置台上的位置与比该第一设置台靠下方的位置之间进行升降。5.根据权利要求1所述的处理液供给装置，其特征在于，还具有进行互锁的机构，该互锁用于使从设置于所述分区的所述贮存容器供给处理液的动作不能进行，在设置于所述分区的更换后的所述贮存容器不是应该设置在该分区的贮存容器的情况下，所述互锁被设为有效。6.根据权利要求1所述的处理液供给装置，其特征在于，所述通知部具有以互不相同的颜色来进行发光的2个所述发光元件。

技术总结
提供一种处理液供给装置。在处理液供给装置中的处理液的贮存容器更换时，以更换作业中的作业者能够立即视觉辨认的方式通知更换后的贮存容器是否适当。处理液供给装置对使用处理液处理基板的基板处理装置供给处理液，具备：收容部，其具有多个分区，各分区被从一侧面侧设置贮存有处理液的贮存容器；获取部，针对分区分别设置获取部，获取部从附在设置于对应的分区的贮存容器的侧面的识别信息保持部获取该贮存容器的识别信息；以及通知部，针对分区分别设置通知部，通知部基于对应的分区的获取部的获取结果，以发光元件的发光状态来通知该分区中的贮存容器的设置状态，其中，通知部的发光元件向一侧面侧发光。的发光元件向一侧面侧发光。的发光元件向一侧面侧发光。


技术研发人员：宇都宫由典
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2021.10.08
技术公布日：2022/5/25