一种高效稳定的晶圆处理装置的制作方法

1.本发明涉及晶圆处理装置的技术领域，尤其是涉及一种高效稳定的晶圆处理装置。


背景技术：

2.目前，在半导体制造过程中，通常会在腔体中将待制备的晶圆设置于晶圆处理装置上，以对晶圆进行制备，从而便于对晶圆进行后续加工。
3.现有技术可参考授权公告号为cn112216648b的中国专利，其公开了一种高效稳定的晶圆处理装置，包括用于放置晶圆的处理平台，处理平台靠近晶圆的一侧开设有多个排气孔，排气孔内设置有顶针，顶针能够抵接于晶圆。
4.但是，当晶圆体被放置在处理平台上时，有可能受到来自处理平台的冲击力，从而增大晶圆体表面发生受损的可能性。


技术实现要素：

5.本技术提供一种高效稳定的晶圆处理装置，能够降低晶圆体表面发生受损的可能性。
6.本技术提供的一种高效稳定的晶圆处理装置，采用如下的技术方案：一种高效稳定的晶圆处理装置，包括用于放置晶圆的处理平台，所述处理平台靠近晶圆的一侧开设有多个缓冲槽，每个所述缓冲槽内滑动设置有底座，所述底座上固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧远离所述底座的一端固定连接有缓冲板，所述缓冲板能够滑动连接于所述缓冲槽的内侧壁，所述缓冲板能够抵接于晶圆，所述缓冲槽内设置有用于驱动所述底座移动的驱动机构。
7.通过采用上述技术方案，当晶圆被放置在处理平台上时，通过缓冲板以及缓冲弹簧的设置，能够便于对晶圆起到缓冲作用，从而便于降低晶圆表面发生受损的可能性；通过驱动机构的设置，能够便于驱动底座移动，底座驱动缓冲弹簧移动，缓冲弹簧驱动缓冲板移动，缓冲板驱动晶圆移动，从而便于将晶圆缓慢的放置在处理平台上，进而便于进一步降低晶圆表面发生受损的可能性。
8.优选的，所述驱动机构包括丝杠，所述丝杠转动设置于所述缓冲槽远离所述缓冲板的一侧，所述丝杠与所述底座螺纹配合，所述丝杠上套设固定有齿轮，所述缓冲槽的一侧开设有驱动槽，所述驱动槽内滑动设置有驱动块，所述驱动块上固定连接有齿条，所述齿条能够与所述齿轮相啮合，所述驱动块远离所述齿轮的一侧固定连接有驱动弹簧，所述驱动弹簧远离所述齿轮的一端固定连接于所述驱动槽的内侧壁，所述缓冲槽内设置有用于对所述驱动块进行阻挡的阻挡组件。
9.通过采用上述技术方案，当需要驱动底座移动时，先取消阻挡组件对驱动块的阻挡作用，此时驱动块在驱动弹簧的弹力作用下移动，驱动块驱动齿条移动，齿条驱动齿轮转动，齿轮驱动丝杠转动，从而便于驱动底座移动。
10.优选的，所述阻挡组件包括阻挡块，所述阻挡块的一侧固定连接有导向块，所述缓冲槽靠近所述导向块的一侧开设有导向槽，所述导向块与所述导向槽滑动配合，所述驱动块远离所述底座的一侧能够抵接于所述阻挡块，所述缓冲槽的内侧壁上转动设置有转轴，所述转轴的一端固定连接有连杆，所述连杆靠近所述阻挡块的一侧开设有第一让位孔，所述阻挡块靠近所述第一让位孔的一侧固定连接有第一连接杆，所述第一连接杆与所述第一让位孔活动配合，所述缓冲槽内设置有用于驱动所述连杆转动的驱动件。
11.通过采用上述技术方案，通过阻挡块的设置，能够便于对驱动块起到阻挡作用；当需要取消阻挡块对驱动块的阻挡时，先通过驱动件驱动连杆转动，连杆驱动第一连接杆移动，第一连接杆驱动阻挡块移动，当阻挡块与驱动块分离时，从而便于取消阻挡块对驱动块的阻挡作用。
12.优选的，所述驱动件包括驱动杆，所述驱动杆与所述缓冲槽滑动配合，所述驱动杆固定连接于所述缓冲板靠近所述底座的一侧，所述驱动杆贯穿底座设置，所述连杆上开设有第二让位孔，所述第一让位孔内活动设置有第二连接杆，所述第二连接杆固定连接于所述驱动杆。
13.通过采用上述技术方案，当将晶圆放置在缓冲板上时，缓冲弹簧受力变为压缩状态，此时缓冲板向下移动，缓冲板驱动驱动杆移动，此时驱动杆驱动第二连接杆移动，从而便于驱动连杆转动。
14.优选的，所述缓冲槽的底壁固定连接有导向杆，所述导向杆贯穿底座设置，所述底座与所述导向杆滑动配合。
15.通过采用上述技术方案，通过导向杆的设置，能够降低底座发生旋转的可能性，从而便于底座做平移运动。
16.优选的，所述缓冲槽内安装有液压缸，所述驱动块上固定连接有复位块，所述液压缸的活塞杆能够抵接于所述复位块。
17.通过采用上述技术方案，当需要对底座进行复位时，先将缓冲板上的晶圆移动至别处，此时缓冲板在缓冲弹簧的弹力作用下移动，缓冲板驱动驱动杆移动，驱动杆驱动第二连接杆移动，第二连接杆驱动连杆转动，连杆驱动第一连接杆移动，第一连接杆驱动阻挡块移动，当阻挡块抵接于驱动块时，启动液压缸，液压缸的活塞杆驱动复位块移动，复位块驱动驱动块移动，驱动块驱动齿条移动，齿条驱动齿轮转动，齿轮驱动丝杠转动，从而便于对底座进行复位；当驱动块与阻挡块分离时，阻挡块继续向下移动，当阻挡块能够对驱动块起到阻挡作用时，此时驱动液压缸的活塞杆复位，此时驱动块在驱动弹簧的弹力作用下抵接于阻挡块。
18.优选的，所述缓冲板靠近晶圆的一侧设置有保护板，所述保护板靠近所述缓冲板的一侧固定连接有插接块，所述缓冲板靠近所述插接块的一侧开设有插接槽，所述插接块能够插接于所述插接槽，所述缓冲板上设置有用于对插接块进行固定的固定组件。
19.通过采用上述技术方案，通过保护板的设置，能够便于降低晶圆于缓冲板的刚性接触，从而便于进一步降低晶圆表面发生受损的可能性；通过固定组件的设置，能便于对保护板进行固定，当保护板受损时，能够通过解除固定组件对保护板的固定，从而便于对保护板进行更换。
20.优选的，所述固定组件包括限位销，所述缓冲板的一侧开设有通孔，所述限位销与
所述通孔的内侧壁滑动配合，所述插接块靠近所述限位销的一侧开设有限位槽，所述限位销能够插接于所述限位槽的内侧壁，所述限位销远离所述限位槽的一侧固定连接有把手，所述限位销上套设有限位弹簧，所述限位弹簧的两端分别固定连接于所述把手与所述缓冲板的相对内侧，所述缓冲槽靠近所述把手的一侧开设有让位槽，所述把手能够与所述让位槽滑动配合。
21.通过采用上述技术方案，当需要对保护板进行固定时，先驱动插接块插接于插接槽，再驱动把手移动，把手驱动限位销移动，此时限位弹簧处于拉伸状态，当限位销对准限位槽时，松开把手，此时限位销在限位弹簧的弹力作用下插接于限位槽，从而便于对保护板进行固定。
22.综上所述，本技术具备以下有益效果：1.当晶圆被放置在处理平台上时，通过缓冲板以及缓冲弹簧的设置，能够便于对晶圆起到缓冲作用，从而便于降低晶圆表面发生受损的可能性；通过驱动机构的设置，能够便于驱动底座移动，底座驱动缓冲弹簧移动，缓冲弹簧驱动缓冲板移动，缓冲板驱动晶圆移动，从而便于将晶圆缓慢的放置在处理平台上，进而便于进一步降低晶圆表面发生受损的可能性；2.当需要驱动底座移动时，先取消阻挡组件对驱动块的阻挡作用，此时驱动块在驱动弹簧的弹力作用下移动，驱动块驱动齿条移动，齿条驱动齿轮转动，齿轮驱动丝杠转动，从而便于驱动底座移动；3.当需要对底座进行复位时，先将缓冲板上的晶圆移动至别处，此时缓冲板在缓冲弹簧的弹力作用下移动，缓冲板驱动驱动杆移动，驱动杆驱动第二连接杆移动，第二连接杆驱动连杆转动，连杆驱动第一连接杆移动，第一连接杆驱动阻挡块移动，当阻挡块抵接于驱动块时，启动液压缸，液压缸的活塞杆驱动复位块移动，复位块驱动驱动块移动，驱动块驱动齿条移动，齿条驱动齿轮转动，齿轮驱动丝杠转动，从而便于对底座进行复位；当驱动块与阻挡块分离时，阻挡块继续向下移动，当阻挡块能够对驱动块起到阻挡作用时，此时驱动液压缸的活塞杆复位，此时驱动块在驱动弹簧的弹力作用下抵接于阻挡块。
附图说明
23.图1是本实施例的整体结构示意图；图2是本实施例中显示驱动机构的剖视图；图3是图2中a处的局部放大图。
24.附图标记说明：1、晶圆；2、处理平台；21、缓冲槽；22、底座；23、缓冲弹簧；24、缓冲板；241、保护板；242、插接块；243、插接槽；25、导向杆；26、液压缸；27、固定组件；271、限位销；272、通孔；273、限位槽；274、把手；275、限位弹簧；276、让位槽；3、驱动机构；311、丝杠；312、齿轮；313、驱动槽；314、驱动块；315、齿条；316、驱动弹簧；317、复位块；32、阻挡组件；321、阻挡块；322、导向块；323、导向槽；324、转轴；325、连杆；326、第一让位孔；327、第一连接杆；33、驱动件；331、驱动杆；332、第二让位孔；333、第二连接杆。
具体实施方式
25.以下结合附图对本发明作进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记
表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”、“底面”和“顶面”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
26.本发明公开一种高效稳定的晶圆处理装置，如图1、图2和图3所示，包括用于放置晶圆1的处理平台2，处理平台2呈方形且沿水平方向设置，处理平台2靠近晶圆1的一侧开设有多个缓冲槽21，缓冲槽21的横截面呈方形且沿竖直方向延伸，每个缓冲槽21内沿竖直方向滑动设置有底座22，底座22呈方形且沿水平方向设置，底座22上固定连接有缓冲弹簧23，缓冲弹簧23沿竖直方向设置，缓冲弹簧23远离底座22的一端固定连接有缓冲板24，缓冲板24呈方形且沿水平方向设置，缓冲板24能够沿竖直方向滑动连接于缓冲槽21的内侧壁，缓冲板24远离底座22的一侧能够抵接于晶圆1，缓冲槽21内设置有用于驱动底座22移动的驱动机构3。
27.当晶圆1被放置在处理平台2上时，通过缓冲板24以及缓冲弹簧23的设置，能够便于对晶圆1起到缓冲作用，从而便于降低晶圆1表面发生受损的可能性；通过驱动机构3的设置，能够便于驱动底座22移动，底座22驱动缓冲弹簧23移动，缓冲弹簧23驱动缓冲板24移动，缓冲板24驱动晶圆1移动，从而便于将晶圆1缓慢的放置在处理平台2上，进而便于进一步降低晶圆1表面发生受损的可能性。
28.如图1、图2和图3所示，驱动机构3包括丝杠311，丝杠311沿竖直方向设置，丝杠311的一端通过轴承转动设置于缓冲槽21远离缓冲板24的一侧，丝杠311贯穿底座22设置且丝杠311与底座22螺纹配合，丝杠311上套设固定有齿轮312，齿轮312沿水平方向设置，缓冲槽21靠近丝杠311的一侧开设有驱动槽313，驱动槽313的横截面呈方形且沿底座22的长度方向延伸，驱动槽313内沿底座22的长度方向滑动设置有驱动块314，驱动块314呈方形且沿底座22的长度方向设置，驱动块314靠近齿轮312的一侧固定连接有齿条315，齿条315能够与齿轮312相啮合，驱动块314远离齿轮312的一侧固定连接有驱动弹簧316，驱动弹簧316沿底座22的长度方向设置，驱动弹簧316远离齿轮312的一端固定连接于驱动槽313的内侧壁，缓冲槽21内设置有用于对驱动块314进行阻挡的阻挡组件32。
29.当需要驱动底座22移动时，先取消阻挡组件32对驱动块314的阻挡作用，此时驱动块314在驱动弹簧316的弹力作用下移动，驱动块314驱动齿条315移动，齿条315驱动齿轮312转动，齿轮312驱动丝杠311转动，从而便于驱动底座22移动。
30.如图1、图2和图3所示，阻挡组件32包括阻挡块321，阻挡块321呈方形且沿竖直方向设置，阻挡块321靠近驱动槽313的一侧固定连接有导向块322，导向块322的横截面呈燕尾形且沿竖直方向设置，缓冲槽21靠近导向块322的一侧开设有导向槽323，导向槽323的横截面呈燕尾形且沿竖直方向延伸，导向块322与导向槽323的内侧壁沿竖直方向滑动配合，驱动块314远离底座22的一侧能够抵接于阻挡块321，缓冲槽21的内侧壁上通过轴承转动设置有转轴324，转轴324的横截面呈圆形且沿底座22的宽度方向设置，转轴324靠近丝杠311的一端固定连接有连杆325，连杆325的横截面呈方形且沿竖直方向设置，连杆325靠近阻挡块321的一侧开设有第一让位孔326，第一让位孔326的横截面呈椭圆形且沿转轴324的轴向延伸，阻挡块321靠近第一让位孔326的一侧固定连接有第一连接杆327，第一连接杆327的横截面呈圆形且沿转轴324的轴向设置，第一连接杆327与第一让位孔326的内侧壁活动配合，缓冲槽21内设置有用于驱动连杆325转动的驱动件33。
31.通过阻挡块321的设置，能够便于对驱动块314起到阻挡作用；当需要取消阻挡块321对驱动块314的阻挡时，先通过驱动件33驱动连杆325转动，连杆325驱动第一连接杆327移动，第一连接杆327驱动阻挡块321移动，当阻挡块321与驱动块314分离时，从而便于取消阻挡块321对驱动块314的阻挡作用。
32.如图1、图2和图3所示，驱动件33包括驱动杆331，驱动杆331的横截面呈圆形且沿竖直方向设置，驱动杆331沿竖直方向滑动设置于缓冲槽21内，驱动杆331固定连接于缓冲板24靠近底座22的一侧，驱动杆331贯穿底座22设置且驱动杆331与底座22沿竖直方向滑动配合，连杆325上开设有第二让位孔332，第二让位孔332的横截面呈椭圆形且沿转轴324的轴向延伸，第一让位孔326内活动设置有第二连接杆333，第二连接杆333的横截面呈圆形且沿转轴324的轴向设置，第二连接杆333固定连接于驱动杆331的外侧壁。
33.当将晶圆1放置在缓冲板24上时，缓冲弹簧23受力变为压缩状态，此时缓冲板24向下移动，缓冲板24驱动驱动杆331移动，此时驱动杆331驱动第二连接杆333移动，从而便于驱动连杆325转动。
34.如图2和图3所示，缓冲槽21的底壁固定连接有导向杆25，导向杆25的横截面呈圆形且沿竖直方向设置，导向杆25贯穿底座22设置且底座22与导向杆25沿竖直方向滑动配合。通过导向杆25的设置，能够降低底座22发生旋转的可能性，从而便于底座22做平移运动。
35.如图2和图3所示，缓冲槽21远离驱动槽313的一侧侧壁通过螺栓安装有液压缸26，驱动块314远离齿条315的一侧固定连接有复位块317，复位块317呈方形且沿竖直方向设置，液压缸26的活塞杆能够抵接于复位块317远离驱动弹簧316的一侧。当需要对底座22进行复位时，先将缓冲板24上的晶圆1移动至别处，此时缓冲板24在缓冲弹簧23的弹力作用下移动，缓冲板24驱动驱动杆331移动，驱动杆331驱动第二连接杆333移动，第二连接杆333驱动连杆325转动，连杆325驱动第一连接杆327移动，第一连接杆327驱动阻挡块321移动，当阻挡块321抵接于驱动块314时，启动液压缸26，液压缸26的活塞杆驱动复位块317移动，复位块317驱动驱动块314移动，驱动块314驱动齿条315移动，齿条315驱动齿轮312转动，齿轮312驱动丝杠311转动，从而便于对底座22进行复位；当驱动块314与阻挡块321分离时，阻挡块321继续向下移动，当阻挡块321能够对驱动块314起到阻挡作用时，此时驱动液压缸26的活塞杆复位，此时驱动块314在驱动弹簧316的弹力作用下抵接于阻挡块321。
36.如图2和图3所示，缓冲板24靠近晶圆1的一侧设置有保护板241，保护板241呈方形且沿水平方向设置，保护板241的质地较软，保护板241靠近缓冲板24的一侧固定连接有插接块242，插接块242呈方形且沿竖直方向设置，缓冲板24靠近插接块242的一侧开设有插接槽243，插接槽243的横截面呈方形且沿竖直方向延伸，插接块242能够插接于插接槽243的内侧壁，缓冲板24上设置有用于对插接块242进行固定的固定组件27。通过保护板241的设置，能够便于降低晶圆1于缓冲板24的刚性接触，从而便于进一步降低晶圆1表面发生受损的可能性；通过固定组件27的设置，能便于对保护板241进行固定，当保护板241受损时，能够通过解除固定组件27对保护板241的固定，从而便于对保护板241进行更换。
37.如图2和图3所示，固定组件27包括限位销271，限位销271的横截面呈圆形且沿缓冲板24的长度方向设置，缓冲板24的一侧开设有通孔272，通孔272的横截面呈圆形且沿缓冲板24的长度方向延伸，限位销271与通孔272的内侧壁沿缓冲板24的长度方向滑动配合，
插接块242靠近限位销271的一侧开设有限位槽273，限位槽273的横截面呈圆形且沿缓冲板24的长度方向延伸，限位销271能够插接于限位槽273的内侧壁，限位销271远离限位槽273的一侧固定连接有把手274，把手274呈圆饼状且沿竖直方向设置，限位销271上套设有限位弹簧275，限位弹簧275沿缓冲板24的长度方向设置，限位弹簧275的两端分别固定连接于把手274与缓冲板24的相对内侧，缓冲槽21靠近把手274的一侧开设有让位槽276，让位槽276的横截面呈方形且沿竖直方向延伸，把手274能够与让位槽276滑动配合。
38.当需要对保护板241进行固定时，先驱动插接块242插接于插接槽243，再驱动把手274移动，把手274驱动限位销271移动，此时限位弹簧275处于拉伸状态，当限位销271对准限位槽273时，松开把手274，此时限位销271在限位弹簧275的弹力作用下插接于限位槽273，从而便于对保护板241进行固定。
39.工作原理：当晶圆1被放置在处理平台2上时，通过缓冲板24以及缓冲弹簧23的设置，能够便于对晶圆1起到缓冲作用，从而便于降低晶圆1表面发生受损的可能性；通过驱动机构3的设置，能够便于驱动底座22移动，底座22驱动缓冲弹簧23移动，缓冲弹簧23驱动缓冲板24移动，缓冲板24驱动晶圆1移动，从而便于将晶圆1缓慢的放置在处理平台2上，进而便于进一步降低晶圆1表面发生受损的可能性。
40.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。

技术特征：
1.一种高效稳定的晶圆处理装置，包括用于放置晶圆(1)的处理平台(2)，其特征在于：所述处理平台(2)靠近晶圆(1)的一侧开设有多个缓冲槽(21)，每个所述缓冲槽(21)内滑动设置有底座(22)，所述底座(22)上固定连接有缓冲弹簧(23)，所述缓冲弹簧(23)远离所述底座(22)的一端固定连接有缓冲板(24)，所述缓冲板(24)能够滑动连接于所述缓冲槽(21)的内侧壁，所述缓冲板(24)能够抵接于晶圆(1)，所述缓冲槽(21)内设置有用于驱动所述底座(22)移动的驱动机构(3)。2.根据权利要求1所述的一种高效稳定的晶圆处理装置，其特征在于：所述驱动机构(3)包括丝杠(311)，所述丝杠(311)转动设置于所述缓冲槽(21)远离所述缓冲板(24)的一侧，所述丝杠(311)与所述底座(22)螺纹配合，所述丝杠(311)上套设固定有齿轮(312)，所述缓冲槽(21)的一侧开设有驱动槽(313)，所述驱动槽(313)内滑动设置有驱动块(314)，所述驱动块(314)上固定连接有齿条(315)，所述齿条(315)能够与所述齿轮(312)相啮合，所述驱动块(314)远离所述齿轮(312)的一侧固定连接有驱动弹簧(316)，所述驱动弹簧(316)远离所述齿轮(312)的一端固定连接于所述驱动槽(313)的内侧壁，所述缓冲槽(21)内设置有用于对所述驱动块(314)进行阻挡的阻挡组件(32)。3.根据权利要求2所述的一种高效稳定的晶圆处理装置，其特征在于：所述阻挡组件(32)包括阻挡块(321)，所述阻挡块(321)的一侧固定连接有导向块(322)，所述缓冲槽(21)靠近所述导向块(322)的一侧开设有导向槽(323)，所述导向块(322)与所述导向槽(323)滑动配合，所述驱动块(314)远离所述底座(22)的一侧能够抵接于所述阻挡块(321)，所述缓冲槽(21)的内侧壁上转动设置有转轴(324)，所述转轴(324)的一端固定连接有连杆(325)，所述连杆(325)靠近所述阻挡块(321)的一侧开设有第一让位孔(326)，所述阻挡块(321)靠近所述第一让位孔(326)的一侧固定连接有第一连接杆(327)，所述第一连接杆(327)与所述第一让位孔(326)活动配合，所述缓冲槽(21)内设置有用于驱动所述连杆(325)转动的驱动件(33)。4.根据权利要求3所述的一种高效稳定的晶圆处理装置，其特征在于：所述驱动件(33)包括驱动杆(331)，所述驱动杆(331)与所述缓冲槽(21)滑动配合，所述驱动杆(331)固定连接于所述缓冲板(24)靠近所述底座(22)的一侧，所述驱动杆(331)贯穿底座(22)设置，所述连杆(325)上开设有第二让位孔(332)，所述第一让位孔(326)内活动设置有第二连接杆(333)，所述第二连接杆(333)固定连接于所述驱动杆(331)。5.根据权利要求1所述的一种高效稳定的晶圆处理装置，其特征在于：所述缓冲槽(21)的底壁固定连接有导向杆(25)，所述导向杆(25)贯穿底座(22)设置，所述底座(22)与所述导向杆(25)滑动配合。6.根据权利要求2所述的一种高效稳定的晶圆处理装置，其特征在于：所述缓冲槽(21)内安装有液压缸(26)，所述驱动块(314)上固定连接有复位块(317)，所述液压缸(26)的活塞杆能够抵接于所述复位块(317)。7.根据权利要求1所述的一种高效稳定的晶圆处理装置，其特征在于：所述缓冲板(24)靠近晶圆(1)的一侧设置有保护板(241)，所述保护板(241)靠近所述缓冲板(24)的一侧固定连接有插接块(242)，所述缓冲板(24)靠近所述插接块(242)的一侧开设有插接槽(243)，所述插接块(242)能够插接于所述插接槽(243)，所述缓冲板(24)上设置有用于对插接块(242)进行固定的固定组件(27)。
8.根据权利要求7所述的一种高效稳定的晶圆处理装置，其特征在于：所述固定组件(27)包括限位销(271)，所述缓冲板(24)的一侧开设有通孔(272)，所述限位销(271)与所述通孔(272)的内侧壁滑动配合，所述插接块(242)靠近所述限位销(271)的一侧开设有限位槽(273)，所述限位销(271)能够插接于所述限位槽(273)的内侧壁，所述限位销(271)远离所述限位槽(273)的一侧固定连接有把手(274)，所述限位销(271)上套设有限位弹簧(275)，所述限位弹簧(275)的两端分别固定连接于所述把手(274)与所述缓冲板(24)的相对内侧，所述缓冲槽(21)靠近所述把手(274)的一侧开设有让位槽(276)，所述把手(274)能够与所述让位槽(276)滑动配合。

技术总结
本发明公开了一种高效稳定的晶圆处理装置，其包括用于放置晶圆的处理平台，所述处理平台靠近晶圆的一侧开设有多个缓冲槽，每个所述缓冲槽内滑动设置有底座，所述底座上固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧远离所述底座的一端固定连接有缓冲板，所述缓冲板能够滑动连接于所述缓冲槽的内侧壁，所述缓冲板能够抵接于晶圆，所述缓冲槽内设置有用于驱动所述底座移动的驱动机构。本发明能够降低晶圆体表面发生受损的可能性。受损的可能性。受损的可能性。


技术研发人员：朱峰 熊志红
受保护的技术使用者：广州仕上科技有限公司
技术研发日：2022.02.19
技术公布日：2022/5/25